半导体行业超纯水系统.doc

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1、半导体行业超纯水系统——深圳恒通源半导体行业超纯水系统介绍：●概述  半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。●设备特点  电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器等构成

2、预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。水箱设有液位控制系统、水泵设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用模块化组合PLC，及通信远程输送至中控室上位机，实现现场就地和集中控制两种操作方式，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 ●应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水； 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水； 4、汽车、家电表面抛光处理； 5、光

3、电子产品； 6、其他高科技精微产品。