电子行业超纯水系统

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1、电子行业超纯水系统简  介：电子行业对水中的离子含量要求非常高，本系统采用先进的反渗透技术，结合尖端的EDI，混床技术，使产水水质最高可达18.25兆欧，水质符合美国ASTM标准。目前我国电子工业部把电子级水质分为五个行业标准，分别为18MΩ•cm，15MΩ•cm，10MΩ•cm，2MΩ•cm和0.5MΩ•cm，以区分不同水质技术参数：产水水质：水质符合美国ASTM标准，电子工业部超纯水水质标准18MΩ•cm，15MΩ•cm，10MΩ•cm，2MΩ•cm和0.5MΩ•cm五级产水水量：0.5-100T/H材

2、  质：玻璃钢不锈钢有机玻璃等工艺流程：1、预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象2、预处理→一级反渗透→加药泵（PH调节）→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密

3、过滤器→用水对象主要特点：*该系统一切动作均在预设程序下自动进行，具备全自动功能。*系统结构布置紧凑，有效节约空间。*系统能耗低，制水成本低廉。*系统运行安全可靠，供水管路封闭，出水水质稳定。适用范围：生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统。传统的纯水方法不能制备出超纯水，化学意义上纯水（液态的H2O）的理论电导率为18.25MΩ.cm。人们生产的纯水是达不到理论值的，但18MΩ.cm似乎是可以达到的，对于这种水，有的称为高纯水，有的

4、称为超纯水，目前还没有系统的定义。也没有划分等级界限，从商业观点看叫超纯水似乎比高纯水更好听一些。笔者以为还是看电导率指标更准确一些。  现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来，不仅能生产超纯水，而且变得非常容易。目前市售的超纯水器就是一个成功的例子。自来水进去超纯水出来，非常方便。而且使用寿命也越来越长。    超纯水器制备超纯水的原理和步骤大体如下： 1.原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。  2.机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。  3.

5、活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等；吸附细菌和某些过滤金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。  4.反渗透膜过滤：可滤除95％以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。出于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。  5.紫外线消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。  6.离子交换单元：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混

6、合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解，不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。所谓“核工业级树脂”大概就属于这一类树脂。对树脂的要求是质量越高越好。可惜国内很少有人在这方面下功夫，满足于生产大路线。  7.0.2μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物道每毫升1个（小于0.2μm的口经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。应能满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等的要求，接近或达到电子级水的要求。纯化水处理

7、的几种工艺一、活性炭过滤器吸附市政自来水中的余氯，以避免对树脂和反渗透膜造成不可逆转的损坏。用活性炭进行吸附处理。活性炭不仅吸附能力强，而且吸附容量大，其主要原因就是其多孔结构，其比表面积达500~700平方米/克。因此可以完全吸附水中的余氯及部分吸附有机物，而且对色度、臭味也有较好的去除效果。二、脱气塔脱气塔在纯水中是为了除去二氧化碳气体而设的，以免对后续RO膜造成伤害。脱气塔里面添有一定高度的直径为50mm的多面塑料空心球，当纯水从管道中以一定流速流至脱气塔里时，经过这些空心球时，被分散成细小水粒，流速

8、减小，加上鼓风机从脱气塔底部鼓入空气，二氧化碳则有充分的时间脱离脱气塔。用鼓风脱气方式除去水中游离二氧化碳的设备，水自设备上部引入，经喷淋装置喷洒开，流过表面积大的填料，空气自下部风口进入逆向穿过填料层，水中的游离二氧化碳迅速地析出进入空气中，自顶部排出，在水处理工艺中一般设置在氢离子交换器的后面，只要选用合适，正常情况下，经除碳器后，水中的残留二氧化碳，可不超过5毫克/升  。一、板式热交换器水的温度过高或过低