微电子行业用超纯水设备新浪.docx

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1、微电子行业用超纯水设备　　一、微电子行业用超纯水设备概述　　技术资料来源于莱特莱德广州超纯水设备环境工程公司　　微电子行业对水质的要求特别高，一般的水质达不到要求。因此微电子行业使用的水必须是是经过超纯水设备处理过的水。超纯水的电导率可达到18、3兆欧，是目前水质最高的超纯水。超纯水设备采用先进的EDI工艺，完全满足电子行业的水质要求，微电子行业用超纯水设备是工业生产中必不可少的净水设备。　　二、微电子行业用超纯水设备的优点　　1、设备所有零件均是采用进口产品，技术先进成熟。　　2、只要改变膜的

2、数量就可以改变处理量，设备整体化成都高。　　3、全自动化控制，装有自我保护系统。　　4、能源消耗低，水利用率大。　　5、结构合理，操作简单，运行稳定。　　与传统的蒸馏法相比较，以反渗透法为基础的联合了电去离子(EDI)技术的新工艺具有明显的优越性和先进性。　　1、高效节能。蒸馏法系历史最为悠久的医药用水制备工艺，主要有多级蒸馏、高压分级蒸馏和离心净化蒸馏几种工艺。所有蒸馏方法均需要在120℃无菌状态下进行，因此，运行当中能源的消耗相当大。同时，因为温度较高，所有设备组成部分必须耐受高温冲击，设备

3、的造价及维护费用高昂。EDI工艺采用非常成熟的反渗透技术，结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。　　2、稳定可靠。随着工业化进程的不断加快，大量而成份复杂的废物排放使世界范围的污染变得日益严重，其中水资源的污染较之以往更加严峻。易挥发有机污染物因其沸点大都低于水的汽化温度，如不加处理，蒸馏过程中极易进入产成水中，单纯蒸馏方法无法将其有效去除，必须倚重活性碳吸附等过滤办法，增加了

4、系统和水质的不稳定性。膜法工艺采用多介质过滤器进行预处理。反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质，从根本上保证有机物指标达到药典规定指标。　　3、先进环保。膜法联合工艺替代传统纯蒸馏方法已经成为当今世界医药用水生产技术的主流。近年来代表制药用水制备工艺最高技术水平的连续电去离子技术的出现，促使电子行业用水制备工艺摒弃伴生废酸、废碱污染的传统离子交换技术，系统实现全自动计算机控制，连续生产，安全无污染。　　三、微电子行业用超纯

5、水设备的工艺流程　　1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。　　3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺

6、，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。　　四、微电子行业超纯水设备的工艺用水标准　　超纯化水标准、医疗生物水标准、显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)。　　集成电路PCB用纯水水质、光电技术、航空技术、制取及化合物提取。　　国家电子级纯水标准。　　美国SEMI协会标准。　　微电子行业超纯水设备水质符合国家电子级用水的标准，提升了电子产品的品质。