高分辨场发射扫描电镜技术参数.doc

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1、高分辨场发射扫描电镜技术参数一、二次电子分辨率：0.8nm(加速电压15kV)1.1nm(着陆电压1kV)二、放大倍率：40到900k三、电子光学：1.电子枪：场发射电子枪2.加速电压:0.5到30kV，3.透镜系统：三级以上电磁透镜系统4.物镜光阑：四孔或大于四孔可调光阑(内置加热自清洁功能,)5.消像散器：八级电磁系统（X，Y）6.探测器：低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）至少三个探测器进行二次电子/背散射电子的接收（配置光学导航摄像探头，配备红外CCD探头）四、样品室和样品台：样品台控制：高精度五轴马达

2、台移动范围指标：X≧100mm,Y≧80mm,Z20mm1.X、Y轴重复精度优于0.5微米。2.样品台控制：图形界面控制；样品位置记忆功能；图片导航功能3.样品仓接口：不少于10个附件预留口并带有附件返控接口4.可进样尺寸：直径不小于100mm五、显示系统1.用户界面：电脑显示器上的图形用户界面2.电脑：操作系统：微软Windows7专业版3.显示器：进口24.1寸专业图像处理液晶显示器2台4.扫描模式：二维图像显示；选区模式；点分析模式；线积分；隔行扫描，漂移补偿帧积分5.图像显示模式：大屏显示模式(1280960)四屏同时显示

3、模式(640480)选区显示模式（图像调整时使用）1.图像存储保存格式：BMP,TIFF(8位，16位，24位),JPEG，存储像素不小于6kX4k六、真空系统1.真空控制：完全自动气动阀系统2.真空泵：离子泵：2或3个-4进口涡轮分子泵：1（主抽气）前级干泵：13.真空度：样品室：﹤10Pa七、保护措施断电保护、断水保护、漏气保护，配有进口空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却扫描电镜镜筒及其它部件，要求配备2小时不间断电源系统备用场发射灯丝1根，物镜光阑1套八、防污染措施液氮冷阱，集成式等离子清洗装置（利用电镜主机软件操控）九、

4、工作条件1．电源：220V/50Hz，2．环境条件：室温：17℃~23℃3.相对湿度：80%4.仪器运行的持久性：可连续运行十、能谱仪技术参数1.能谱探测器：传感器面积≥100mm2。2.分析元素范围：Be4~U923.能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV(STD)严,格依照ISO15632国标准测量4.在0~200kcps范围内的分辨率稳定性：>90%5.能量分辨率和死时间实时显示6.可处理最大计数率:1,600,000CPS，最大输出计数率>800,000CPS，7.分析平台：要求提供最新型支持中文在内多国语言，在使用中可

5、随时切换的智能软件系统；要求系统平台可实现能谱仪，EBSD，波谱仪一体化操作。1.1.智能相分布：在快速扫描的同时，实时自动识别化学相并给出其面分布1.2.专家峰识别（ExpertID）：基于物理原理的高级峰识别技术，对叠峰和痕量元素识别更准确7.3．智能跟踪：实时跟踪系统状态，确保其始终处于最佳条件7.4．智能数据复查：方便提取数据和重构面分布8．智能定性分析：基于物理原理的定性分析技术9．智能定量分析：针对具体应用，有不同的定量方法供选择十一、离子溅射仪技术参数1.溅射电流：0－40mA2.压力控制范围：7－20Pa3．镀膜速

6、率：15nm/min（Pt靶）（溅射条件：溅射腔压力：7Pa；溅射电流：40mA；溅射距离：20mm）4．溅射靶材（阳极靶材）：Pt靶材