场发射新扫描电镜操作说明及注意事项

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1、场发射新扫描电镜基本操作规程1检查仪器状态,放入样品,必须戴手套操作,将制备好的样品放入样品座中。调节样品高度，样品不得高于样品座上边沿。2预抽室放气，按下“Vent”键，打开预抽室仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空。3观察样品，待真空抽至“4.4×10-4”后，点加电压“ON”，待电流上升至10uA的发射电流后，按下“GUN”。4加速电压逐步从低到高升到5kv，工作距离一般选用10mm。5控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央。6LowMag（快速移动到要观察

2、的样品上），ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和像散调节—得到一幅满意的图像；7图像存储，在保存一幅图像之前，直接在QuickView时按Photo键，在操作下一步之前点Freeze解除。8取出样品，先关闭“Gun”灯亮，关闭高压，按下“ExchangePosition”键。确认“EXCHPOSN”灯亮；9将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。10按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。

3、场发射新扫描电镜注意事项（1）在接触到样品座的所有操作，必须戴手套；（2）在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；（3）换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉；（4）样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；（5）关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。操作顺序不得反转；（6）在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须达到4.4×10-4Pa；（7）严禁测试磁性材料样品；（8）样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜；（9）禁止操作

4、样品杆、样品升降台、轨迹球外旋钮、背散射按钮（否则出现问题，后果自负，仪器损坏，负责赔偿）.预约扫描电镜须知1.样品必须清洗干净，特别是腐蚀样品，需用乙醇彻底清洗，之后在测试之前烘箱烘干2-5小时；2.禁止送磁性材料样品测试，请提前确认样品有无磁性；3.禁止使用U盘或外带光盘拷贝数据，以免电脑软件中毒；4.块体样品大小8mm*8mm*8mm以内，超出的请提前切割处理；5.测试时禁止在实验室打闹，禁止学生触摸实验设备，设备有高压电，以免发生危险；6.预约请提前1天以上，周末和晚上请勿打扰；7.未经培训的人员，禁止操作仪器设备

5、；8.仪器设备贵重，请来测试人员注意，如有损坏照价赔偿；9.测试完请填写实验记录，打扫实验室。材料分析测试中心2018年3月22日