场发射扫描电镜技术参数（配能谱仪）

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1、场发射扫描电镜技术参数（配能谱仪）1运行环境1.1房间温度：15~25℃1.2相对湿度：小于60%1.3适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电1.4地线：电阻小于100Ω2设备用途微细结构材料的形貌及尺寸观察、组成的定性测量。生物样品、环境样品、催化剂、吸附剂、陶瓷材料、金属材料、合金材料等的形貌观察、微区分析和组成定性测量。3技术规格3.1组成：主机（包括真空系统、电子光学系统、检测器），自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及附件。*3.2分辨率：1.0nm（15kV）1.3nm（1kV，减速模式）3.3加速电压：0

2、.5~30kV，0.1kV/步*3.4放大倍率：´20to´800,0003.5电子光学系统*电子枪：冷场发射电子枪最大电子束流度：不低于2nA透镜系统：3级电磁式*透镜工作多种模式：高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、样品低损伤模式*物镜光阑：4孔可调式（直径30、50、50、100μm）内置加热自清洁装置*3.6样品室和样品台：样品台驱动：3轴马达驱动移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~70°；R：360°最大样品尺寸：100mm3.7探测器:二次电子探测器：高位和低位4*高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并有10

3、0多种混合方式。*可控信号混合：允许操作者控制图像信号。操作者可以选择纯的二次电子像或者纯的背散射电子像或者两者信号的任意比例混合像*3.8扫描模式：TV扫描（扫描速度不低于0.033桢/秒），慢扫描，用于观察和记录。图像捕捉：慢扫描成像和快扫描积分成像扫描速度：快扫描等于或优于25桢/秒慢扫描全屏模式下1、4、20、40、80桢/秒，可选3.9操作/显示：PC/AT兼容，Windows操作系统3.10图像储存：640×480，1280×960，2560×1920像素图像文件格式：BMP，JPEG，TIFF3.11数据记录：胶卷号，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，

4、时间，工作距离*3.12电子图像移动：±12μm(WD=8mm)3.13真空系统：真空度：10-7Pa(电子枪)；10-4Pa(样品室)真空泵：分子泵1台，机械泵1台，离子泵2台保护：断电、漏电、真空保护带有冷阱以减小样品污染3.14能谱仪*配置电制冷能谱仪有效晶体活区面积：≥30mm23.14.1硅漂移(SDD)型SEM探测器3.14.2内含珀耳帖（Peltier）无液氮制冷系统3.14.3对Mn-Ka在100,000CPS计数率下测量的分辨率优于128eV3.14.4SUTW超薄窗口,传感器:30mm²3.14.5可以定量分析包括B5以上的所有元素3.14.6可处

5、理输入计数率>1,000kCPS，输出计数率>350kCPS3.14.7包括前置放大器，放大器和电缆3.15离子溅射仪，电镜同品牌，带喷碳附件3.15.1溅射电压：0.4KV（直流电）*3.15.2溅射电流：0－40mA*3.15.3压力控制范围：7－20Pa43.15.4镀膜速率：15nm/min（Pt靶）（溅射条件：溅射腔压力：7Pa；溅射电流：40mA；溅射距离：20mm）*3.15.5最大样品直径：60mm3.15.6最大样品高度：20mm*3.15.7机械泵抽气速率：135升/分钟4标准附件及工具按标准配置，由厂家提供二年以上备品备件、专用工具和消耗品1套。

6、5产品配置要求5.1场发射扫描电镜主机1套5.2自动变压器1套5.3冷却循环水系统1套5.4电子减速功能1套5.5电制冷能谱仪30mm2　　　　　　　　　1套5.6通讯接口　　　　　　　　　1套5.7标准随机附件及工具1套5.8标准随机文件PC安装手册（带文档CD）1件操作系统恢复盘CD-ROM1件测试报告1件软件CD-ROM1件安装手册1件5.9备用灯丝1个5.10导电双面胶带2盒5.11场发射扫描电镜用离子溅射仪1台5.12数据工作站，24寸宽屏6技术服务*6.1要求供货厂家在西北地区设立固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。46.2安装、调

7、试和培训在仪器到货前厂家派遣工程师携带专用设备对用户方安装室的地面振动和环境杂散磁场进行免费的检测。仪器到货后，厂家提供免费安装及在用户方的免费培训。注：*表示为重要的必须满足指标4