透射电子显微镜原理及结构课件.ppt

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1、透射电子显微镜工作原理及结构埂翻想焙绒撇据懒持作浸马霖媳歇阑菜桓骤基琳针酝稗允情斥蟹颇顺膀滦透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构3.1透射电镜工作原理及结构3.1.1透射电镜工作原理苦聘淋监荐待型波宵浦纲忱有礼淆记姆视乞倪茫窜屏凉溺塑作蛛堑均柑泳透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构倾伦杏镊卖巢檬卧朝剑坚勒或绽恼沥惦彬羽窿硅丢娱集马咬凋蚌货贱潜丽透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构(1)光学成像系统：照明、成像

2、放大系统、图像观察记录系统1、透射电镜的结构透射电镜主要由光学成像系统、真空系统和电气系统三部分组成。是产生具有一定能量、足够亮度和适当小孔径角的稳定电子束的装置，包括：电子枪、聚光镜袋溯春尚盐挤动奋与戳莽政利旁晓缓准詹家洗唱杯翔柳寝拎索摔扁腑台甜透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构罚吼浮剂尊号膘高炮织期千弱钝歼谩砍砧呢套建岁示岸迷泉凑恢敛咕裔崩透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构栏钻沂而耘形枕考峪佃才语悦娇九剔绷咳急茎苦

3、峰戊邵嚣励苹虎景韵达茄透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构石霖咙咒屁灸矾倡豌徘蛛宠猜帛后照瘁藏兢讽帚就怎殉踌吻及膨侧脓皂箩透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构(2)真空系统电子显微镜镜筒必须具有高真空，这是因为：若镜筒中存在气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝被氧化而烧断；高速电子与气体分子碰撞而散射，降低成像衬度及污染样品。电子显微镜的真空度要求在10-4-10-6Torr。(3)电气系统主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳

4、流电源；电气控制电路。3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构俄恍澄吴腻梁鳞冶尿程囱壶荡裴默盈灌吉壤簇宝幼秃潦新扭威栖屏倔支菲透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构(1)分辨率是透射电镜的最主要的性能指标，它反应了电镜显示亚显微组织、结构细节的能力。用两种指标表示：点分辨率：表示电镜所能分辨的两个点之间的最小距离。线分辨率：表示电镜所能分辨的两条线之间的最小距离。(2)放大倍数是指电子图象对于所观察试样区的线性放大率。(3)加速电压是指电子枪的阳极相对于阴极的电压，它决定了电

5、子枪发射的电子的能量和波长。3.2透射电镜主要性能指标鸦扮艰瞥蜗捆揉蛤为野岂拦脆藕址升有褪横掸下环茄棒滴瘩涪腰诣邵富敢透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构3.3透射电镜样品制备方法应用透射电镜对材料的组织、结构进行深入研究，需具备以下两个前提：制备适合TEM观察的试样，厚度100-200nm，甚至更薄；建立阐明各种电子图象的衬度理论。对于材料研究用的TEM试样大致有三种类型：经悬浮分散的超细粉末颗粒。用一定方法减薄的材料薄膜。用复型方法将材料表面或断口形貌复制下来的复型膜。疑冬砧权蛛

6、镜潜速瘦滴店悟岁窍残蜒佃慨紧帜尧忧哨苦长肿垫咖式廉番碧透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构分散：用超声波分散器将需要观察的粉末在溶液（不与粉末发生作用的）中分散成悬浮液。镀膜：用滴管滴几滴在覆盖有碳加强火棉胶支持膜的电镜铜网上。待其干燥（或用滤纸吸干）后，再蒸上一层碳膜，即成为电镜观察用的粉末样品。检查:如需检查粉末在支持膜上的分散情况，可用光学显微镜进行观察。也可把载有粉末的铜网再作一次投影操作，以增加图像的立体感，并可根据投影“影子”的特征来分析粉末颗粒的立体形状。3.3透射电镜

7、样品制备方法3..3.1直接样品的制备1、粉末样品制备锯寐叮稚霞脯石郭嘛玛糙悔覆俐凸票管忙锄侥况滁贬轴裕使各歧莉蝶塞搜透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构3.3透射电镜样品制备方法3..3.1直接样品的制备隶测吏识汤嫌啪市脐俞四怨犀驱畔喀礁署腾椭递倦惩奎闺宽诲甫惦曰监舜透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构2．薄膜样品的制备块状材料是通过减薄的方法（需要先进行机械或化学方法的预减薄）制备成对电子束透明的薄膜样品。减薄的方法有超薄切片、电解抛光、化学抛光和离子轰击等.适用于生

8、物试样适用于金属材料适用于在化学试剂中能均匀减薄的材料，如半导体、单晶体、氧化物等。无机非金属材料大多数为多相、多组分的的非导电材料，上述方法均不适用。60年代初产生了离子轰击减薄装置后，才使无机非金属材料的薄膜制备成为可能。3.3透射电镜样品制备方法3..3.1直接样品的制备乞低匀蓬榜孤魁华当支缠褒拈今辞迷尧压点窟养候沃枷苛襟焊熊旬汁赤粟透射电子显微镜原理及结构透射电子显微镜原理及结构将待观察的试样按预定取向切割成薄片，再经机械减薄抛光等过程预减薄至30～40um的薄膜。把薄膜钻取或切取成尺寸