基于ASTM方法的光学平面面形检测.pdf

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1、第!"卷!第#期光!学!仪!器4567!"!.57#$%#&年$月'()*+,-*./)0123.)/89:;<=;>!$%#&!!文章编号"#%%&?&@!%#$%#&$%#?%%%A?%&基于,/)2方法的光学平面面形检测李晋惠#!王!飞#!$!范博洋!##7西安工业大学理学院!陕西西安!"#%%$#'$7西安工业大学北方信息工程学院!陕西西安!"#%%$&'!7西北工业大学自动化学院!陕西西安!"#%%"$$摘要!为分析光学平面面形偏差!以直径#%%CC光学平晶为检测对象!利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图!按照美国材料与试验协会%,C9;DH=G/5HD9N>L5;)9

2、JNDGE=GO2=N9;D=6J!,/)2&标准方法!通过分析!能够定性反映出被测光学平面的面形偏差"计算并分析了波面偏差指标峰谷值.=和均方根值>(9!将计算结果与利用`['斐索干涉仪测得的数据对比!偏差为#%a!$!符合光学检测要求"综合考虑可操作性和计算精度!这种基于,/)2的方法是一种行之有效的光学检测分析方法"关键词!斐索干涉仪#干涉图#平面面形检测#,/)2方法中图分类号!).$A"!文献标志码!,!!"#"#%7!B@B$I7DJJG7#%%&?&@!%7$%#&7%#7%%$F%'&1(%/%+."+"4.#)',4,'+%&1(5')%0'&%!"+7GAF/%.*

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7、$%$!女!教授!主要从事计算机视觉与数字图像处理*嵌入式系统及应用等方面的研究&3?C=D6"#!UB#UU#!#&!#@!7H5C通信作者!王!飞##B"A%$男!讲师!主要从事数字图像处理*计算机网络及应用等方面的研究&3?C=D6"DGG9;CEQL!#@!7H5C!第#期李晋惠!等"基于,/)2方法的光学平面面形检测+&!+!波长为单位的一种计量测试方法!是检测光学系统*光学元件较为有效*准确的方法之一&其中斐索干涉仪具有