基于分形理论的光学表面误差评价方法研究

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2、并向主管部门或其指定机构送交学位论文(包括纸质版和电子版)，允许学位论文进入厦门大学图书馆及其数据库被查阅、借阅。本人同意厦门大学将学位论文加入全国博士、硕士学位论文共建单位数据库进行检索，将学位论文的标题和摘要汇编出版，采用影印、缩印或者其它方式合理复制学位论文。本学位论文属于：()1．经厦f-JX学保密委员会审查核定的保密学位论文，于年月日解密，解密后适用上述授权。(v乃2．不保密，适用上述授权。(请在以上相应括号内打“√”或填上相应内容。保密学位论文应是已经厦门大学保密委员会审定过的学位论文，未经厦门大学保密委员会审定的学位论文均为公开学位论文。此声明

3、栏不填写的，默认为公开学位论文，均适用上述授权。声明人(签名)：蓬i鞑训tt／年上月g--日厦门大学硕士学位论文摘要在现代激光技术的应用发展中，激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、卫星等精密光学系统对先进光学元件都有极大的需求，且对光学元件表面质量的要求也越来越高。大量研究表明光学元件表面质量会对整个光学系统造成巨大的影响。高质量的光学元件不仅需要先进的制造技术，更需要合理的检测手段保证表面误差在一定的范围内，使其满足性能要求，这是尤为重要的。由于光学表面传统评价方法存在诸多不足，文章基于光学表面的分形结构，提出将分形理论运用于表面误差评价，并建立抛光工艺

4、参数与分形维数的响应模型。本文针对光学表面误差评价方法，加工参数、分形维数二者响应曲面模型关系进行研究，主要研究内容包括：1．分析比较传统光学表面评价方法优缺点，基于光学表面存在分形结构，提出将分形理论运用于光学表面误差评价。2．模拟仿真各分形维数计算方法的计算精度与适用场合，分析光学表面的分形特点，通过实验验证不同材料光学表面的分形维数与传统评价参数存在的近似线性关系。3．进行CMP抛光加工试验，利用响应曲面法建立CMP抛光参数与分形维数的一阶、二阶响应曲面模型，寻求最优加工工艺参数。关键词：光学表面；分形理论；化学机械抛光；响应曲面法厦门大学硕士学位论文

5、AbstractIntheapplicationoflasertechnologyaboutthedevelopmentofmodem，precisionopticalsystemshaveagreatdemandforadvancedopticalcomponents，suchaslaserfusiondevices，high-energylaser，infraredthermalimaging，satellitesandSOon，andsurfacequalityoftheopticalelementsareincreasinglyhighrequire

6、ments．NumerousstudiesshowthatthesurfacequalityoftheopticalelementCancausehugeimpacttotheentireopficalsystem．High-qualityopticsnotonlyrequiresadvancedmanufacturingtechnology，butalsoneedareasonableerrordetectionmethodstoensurethesurfacewithinacertainrange，SOastosatisfytheperformancer

7、equirements，whichareparticularlyimportant．Becauseofthetraditionalevaluationmethodsofopticalsurfaceshasmanydeficiencies，basedonthefractalstructureoftheopticalsurface，articlesputforwardtheapplicationoffractaltheorytothesurfaceerrorevaluation，establishtheresponsemodelaboutpolishingpro

8、cessparametersandthefracta