镀膜机常见故障与分析解决预防措施.docx

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1、.镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.故障点1.高压和束流故障现象故障原因解决及预防措施备注1.1.开枪有高压，1.灯丝保险烧断1.检查灯丝保险，烧断则更换立即无束流2.灯丝烧断2.保险正常则检查灯丝更换枪关高3.南光枪枪体右边引体.压线碰到枪体底坐3.调整引线与枪体底坐的间距.在抽气前检查枪体.1.2.开高压显示跳1.束流控制调在手动，1.电位器归零.在预熔完后应立即动幅度大，并有

2、束电位器未归零将灯丝电位器归零关高流跳动2.枪体短路2.将连接灯丝变压器的高压引压3.高压电极保护罩或线取下（注意引线不能碰到机屏蔽碰到高压引线造器应悬空）开高压，正常则枪成短路体或高压电极保护罩或屏蔽短4.电柜故障路造成3.放气检查电极保护罩或屏蔽4.检修电柜1.3.开枪无高压，1.高压保护不到位（偏1.检查相应的高压保护无束流转.真空.柜门）2.检修高压控制电路2.高压电路出问题1.4.镀膜时高压会1.真空继电器烧坏1.更换真空继电器常见4下跌2.高压电路出问题2.检修高压电路号机1.5.镀膜时灯丝突1

3、.BT138可控硅被击1.更换BT138常见4然很亮(束流达到穿2.检查枪体号机满格)2.枪体短路1.6有高压，有灯1.栅极片短路1.整理枪体丝电流，无光斑2.扫描出问题或扫描2.检修扫描，正确连接扫描线线接反了1.7.束流上不去，1.灯丝位置不正或变1.重新安装或更换灯丝.为了达不到以前的水平形更好的对灯丝定形及延长灯丝（同样功率达不到2.灯丝被氧化使用寿命,在更换新灯丝后应以前的速率）3.连接枪体的各接头对灯丝进行预热处理松动2.更换灯丝.为防止灯丝氧化4.坩埚转速太快在放气前应注意检查关闭灯丝5.材料

4、被污染电源开关6.晶片被挡住3.拧紧各连接处.4.调整坩埚转速5.取出被污染的材料或更换新材料6.调整晶片挡板位置.抽气应检word范文.17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜1.8.阻蒸电流调不1.蒸发舟烧断或松掉1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为上去造成接触不良了防止接触不良，各电极和压2.空气开关跳闸块应清洗干净.更换在蒸发舟3.调节电流的电位器时应将铜压块取下砂干净再安坏了装蒸发舟4.铜电极与真空室底2.打开空气开关板下的引线接触不良3.更换电位器4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉1.9.速率不稳定

5、1.晶片失效1.选择好的晶片，1.2枪的速率2.料面不好要匹配3.功率设置不合理2.料要加平整，养成停坩埚的4.控制参数PID设置好习惯不合理3.预熔功率及最大功率设置合5.灯丝接触不好或老理(最大功率为略大于蒸发时化所需功率）6.高压打火4.设置合理的PID参数5.紧固或更换灯丝6.解决打火现象word范文.1.10.高压打火1.枪体污染，杂物掉入1.整理枪体，在吹枪体时应用枪体吸尘器边吸使吹出的杂物吸走2.各接线处未拧紧不被落在枪体里3.聚四氟套管太脏2.拧紧各连接处，使其接触良4.枪体阳极，栅极变形好

6、5.高压电极太脏3.清洗或更换套管，应定时清6.屏蔽不佳或未屏蔽洗7.光斑位置不合理，扫4.调整或更换阳极，栅极片描状态不好5.更换高压电极8.2枪高压干扰6.调整屏蔽或加装屏蔽9.材料污染有杂物7.调整好光斑，检查扫描10.高压打在10KV8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压11.预熔不够充分9.将被污染的材料去除或更换12.功率设置不合理新材料10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需

7、束流坩锅转一到两圈）12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置22.扫2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短1.检查引线及线圈,引线间不描和路能碰在一起,抽气前应检查引光斑2.整流桥击穿线是否互相触碰和松动3.引线或线圈断路2.更换整流桥4.遥控盒上的连线松3.检查引线及线圈脱或电位器坏了4.接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状1.灯丝变形1.更换灯丝态不好2.极靴位置不正2.调整极靴位置.在拆下清洗3.扫描频率不合适时要做好记号避免安装时位置4.

8、短路条多或少了,位不正置不好3.调整合适频率,频差和密度5.高压档位不对4.调整短路条的位置及数量6.扫描连接线有误5.调整正确的高压档位6.正确连接扫描线,维修时应做好记号word范文.3.坩3.1坩埚转动不灵1.坩埚周边间隙太小1.调整坩埚周边的间隙埚和或不转2.坩埚间隙有材料(卡2.清理间隙中的材料.注意料工转料)不要加得太高,预熔时数量不3.轴承锈死要加得太快,防止材料飞溅掉4.减速器出问题入间隙里使坩埚