镀膜机常见故障教（学）案分析解决预防措施方案

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1、........镀膜机常见故障及分析解决预防措施一.常见故障,问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.故障点故障现象故障原因解决及预防措施备注1.高压和束流1.1.开枪有高压，无束流1.灯丝保险烧断2.灯丝烧断3.南光枪枪体右边引线碰到枪体底坐1.检查灯丝保险，烧断则更换2.保险正常则检查灯丝更换枪体.3.调整引线与枪体底坐的间距.在抽气前检查枪体.立即关高压1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动1.束流控制调在手动，电位器未归零2.枪体短路3.高压电极保护罩或屏蔽碰到高压引线造成短路4

2、.电柜故障1.电位器归零.在预熔完后应将灯丝电位器归零2.将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成3.放气检查电极保护罩或屏蔽4.检修电柜立即关高压1.3.开枪无高压，无束流1.高压保护不到位（偏转.真空.柜门）2.高压电路出问题1.检查相应的高压保护2.检修高压控制电路1.4.镀膜时高压会下跌1.真空继电器烧坏1.更换真空继电器.专业学习资料.........2.高压电路出问题2.检修高压电路常见4号机1.5.镀膜时灯丝突然很亮(束流达到满格)1.BT138可控硅被击穿2.枪体短路1.更换BT1

3、382.检查枪体常见4号机1.6有高压，有灯丝电流，无光斑1.栅极片短路2.扫描出问题或扫描线接反了1.整理枪体2.检修扫描，正确连接扫描线1.7.束流上不去，达不到以前的水平（同样功率达不到以前的速率）1.灯丝位置不正或变形2.灯丝被氧化3.连接枪体的各接头松动4.坩埚转速太快5.材料被污染6.晶片被挡住1.重新安装或更换灯丝.为了更好的对灯丝定形及延长灯丝使用寿命,在更换新灯丝后应对灯丝进行预热处理2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在放气前应注意检查关闭灯丝电源开关3.拧紧各连接处.4.调整坩埚转速5.取出被污染的材料或更换新材料6.调整晶片挡板位置.抽气应检17.

4、电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜.专业学习资料.........1.8.阻蒸电流调不上去1.蒸发舟烧断或松掉造成接触不良2.空气开关跳闸3.调节电流的电位器坏了4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟2.打开空气开关3.更换电位器4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉1.9.速率不稳定1.晶片失效2.料面不好3.功率设置不合理4.控制参数PID设置不合理5.灯丝接触不好或老化6.高压打火1.选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配2.料要加平整，养成停坩埚的

5、好习惯3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率）4.设置合理的PID参数5.紧固或更换灯丝6.解决打火现象.专业学习资料.........1.10.高压打火1.枪体污染，杂物掉入枪体2.各接线处未拧紧3.聚四氟套管太脏4.枪体阳极，栅极变形5.高压电极太脏6.屏蔽不佳或未屏蔽7.光斑位置不合理，扫描状态不好8.2枪高压干扰9.材料污染有杂物10.高压打在10KV11.预熔不够充分12.功率设置不合理1.整理枪体，在吹枪体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里2.拧紧各连接处，使其接触良好3.清洗或更换套管，应定时清洗4.调整或更换阳极

6、，栅极片5.更换高压电极6.调整屏蔽或加装屏蔽7.调整好光斑，检查扫描8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压9.将被污染的材料去除或更换新材料10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈）12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置.专业学习资料.........22.扫描和光斑2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短路2.整流桥击穿3.引线或线圈断路4.遥控盒上的连线松脱或电位

7、器坏了1.检查引线及线圈,引线间不能碰在一起,抽气前应检查引线是否互相触碰和松动2.更换整流桥3.检查引线及线圈4.接好连线或更换电位器2.2光斑及扫描状态不好1.灯丝变形2.极靴位置不正3.扫描频率不合适4.短路条多或少了,位置不好5.高压档位不对6.扫描连接线有误1.更换灯丝2.调整极靴位置.在拆下清洗时要做好记号避免安装时位置不正3.调整合适频率,频差和密度4.调整短路条的位置及数量5.调整正确的高压档位6.正确连接扫描线,维修时应做好记号.专业学习资料.........3.坩埚和工转3.1坩埚转动不灵或不转1.坩埚周边间隙太小2.坩埚间隙有材料(卡料)3.

8、轴承锈死4