spc技术在高纯四氟化硅生产中的应用

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1、化学工程师ChemicalEngineer2014年第O1期文章编号：1002—1124(2014)O1—0015—03：继壤教SPC技术在高纯四氟化硅育生产中的应用李丹丹，李翔宇，郑秋艳，张净普，孙秋丽(中国船舶重工集团公司第七-)k研究所。河北邯郸056027)摘要：本文以高纯siF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象，论述SPC技术在SiF生产质量控制中的初步应用。关键词：SPC；四氟化硅；控制图；过程能力指数中图分类号：TQ127．2文献标识码：AAppiicationofSPCtechnologyinhigh-puritysilicontetraflu

2、orideproductionLIDan-dan，LIXiang—yu，ZHENGQiu-yan，ZHANGJing—pu，SUNQiu-li(The718ResearchInstituteofChinaShipbuildingIndustryCorporation，Handan056027，China)Abstract：Inthispaper，hydrogenfluoridecontentofhigh-puritysilicontetrafluorideproductionafterdistilla-tionwasasqualitymanagementobjects，w

3、asdiscussedpreliminaryapplicationofqualitycontrolofTHeSPC(sta-tisticalprocesscontro1)technologyintheproductionofsilicontetrafluoride．Keywords：SPC；silicontetrafluoride；controlcha~s；processcapabilityindicesSPC(StatisticalProcessContro1)源于二十世纪课题。本文以siF4精馏后的HF指标为研究对象，将20年代，以美国休哈特发明控制图为标志，是一种S

4、PC技术应用于四氟化硅产品的质量控制中，通过用来分析数据的科学方法，并且利用分析结果来解SPC对过程质量特性进行实时监测，提高高纯SiF4决实际问题ll1。SPC技术在我国普及和推广已有多产品的质量。年，但效果并不理想。国内很多企业在使用SPC技术控制产品的生产流程上不成熟，导致产品不合格1SPC的基本原理率较高，无论是返工还是报废，都会产生较高的生SPC是一种借助数理统计方法的过程控制工产成本。在全球经济一体化和知识经济的时代，将具。在产品的生产过程中，由于受到机加工、原材更加突出地影响到企业的生存和发展。料、人和环境等外界因素的影响，其加工性能参数七一八所从事高纯电子

5、气体的研制工作已有是有一定的波动的。SPC技术能够对产品的生产过3O多年的历史，是国内唯一有能力稳定生产高纯度程进行实时监控，科学的找出影响产品生产质量加电子气体的单位，已建立了完善的质量管理体系，工参数的波动，它对生产过程进行分析评价，根据产品质量已达到国际先进水平。siF4在电子和半导反馈信息及时发现参数波动出现的征兆，使生产人体工业中，主要用于氮化硅(Si，N)和硅化钽(TaSi)员采取措施消除其影响，将生产过程维持在仅受随的等离子蚀刻、发光二极管P型掺杂、离子注入工机因素影响的受控状态，以达到控制质量的目的【1。艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料

6、。当前电子企业对高纯电子气体产品质量2SPC在SiF4生产中的实施高度关注，希望获得稳定的产品。因此，如何运用SPC技术评价和提高siF4气体的生产能力，从而稳2．1确定控制对象定提高siF4产品质量，是siF4生产需要深人研究的选取siF4精馏后的HF含量作为控制对象，其对siF4生产的质量影响较大，并且具有易出现问收稿日期：2013一l1一o4题、波动较大、稳定性较差等特点。作者简介：李丹丹(1984一)，女，汉族，助理工程师，就职于中国船舶2．2SPC的实施重工集团公司第718研究所，主要从事高纯电子气体的研究工作。2．2．1数据采集选取七一八所2013年siF4精

7、馏16李丹丹等：SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用2014年第O1期后HF的含量数据。本文从2013年4月1Ft开始收于稳态，在实施过程控制时首先要将过程调整到稳集相应的数据，每日收集1个数据，并将相应的数态；控制用控制图用于待过程调整到稳态后，延长据进行整理，剔除明显异常的点。要求HF的含量控分析用控制图的控制线作为控制用控制图。制在小于或等于25×10。收集的数据见表l。在siF4的生产现场，需要控制的关键参数之一表1s控制图初始数据的收集和计算是精馏后HF的含量。气体具有扩散性，其浓度相对(值的单位为xlO)比较均匀，