opc与spc集成技术在半导体生产中的应用

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1、长春工业大学硕士学位论文摘要随着社会的进步和企业之间竞争的不断加剧，产品质量关系着企业的成败。SPC即统计过程控制(StatisticalProcessContr01)是质量控制的一种重要工具，其系统主要是指应用统计分析技术对生产过程进行实时监控，科学的区分出生产过程中产品质量的随机波动与异常波动，从而对生产过程的异常趋势提出预警，以便生产管理人员及时采取措施，从而达到提高和控制质量的目的。通过在企业中实施SPC，实现对产品稳定性的实时监控和预测，从而达到发现异常、及时改进、减少制造成本、降低废品、改善总体设备效能、提高产品合格率及产品效能等作用。对企业的质量控制有着至关重要的作用。但在实

2、施SPC系统时数据采集无法满足现代企业的需要。一方面，控制和检测仪器繁多，SPC系统与它们之间，缺乏统一的连接标准，使得SPC系统往往需要供应商为硬件设备开发专用的驱动程序，这样一旦硬件设备升级换代，就需要对相应的驱动程序进行更改，增加了系统的维护费用。另一方面，存在着底层数据如何与其它计算机进行信息沟通和传递的问题。由于生产测试设备是不同厂商开发的，底层数据与计算机之间缺乏有效的通信接口，因此通信规范问题成为了制约SPC系统的瓶颈一“信息孤岛”。而OPC技术的出现解决了上述问题。本文结合了飞利浦半导体有限公司的实际情况。首先，介绍了针对于半导体芯片的测试数据，如何实施SPC的过程，通过对

3、实际情况的分析和研究确定了B／S架构的SPC分析系统，并利用OWC、ASP和ADO等关键技术成功的构建出了SPC分析系统。然后，阐述了OPC技术的规范和接口，结合实际要求，开发出了OPC客户端系统。最后，通过数据库和OPC服务器选型工作，成功地将SPC与OPC技术结合在一起。实现了SPC与OPC在半导体生产中的集成。文中提出的OPC技术与SPC技术的集成技术，是先进自动化测试技术与质量控制的完美结合，尤其是基于数据库的SPC系统，它以数据库形式记录存储数据，实现数据共享，具有良好的系统性。再结合OPC数据采集，实现“实时监控”过程，可动态了解当前产品的质量状况。而且通过Web的方式使用SP

4、C分析系统，无需对客户端进行配置和限制，提高了SPC系统的兼容性和扩展性，对于大批量的半导体生产尤其有益。关键词：OPC、统计过程控制、数据库、半导体篓童三些查兰堡主兰些堡塞。AbstractWiththefactsthatadvanceofsocietyandtheincreasinglyaggressivecompetitionamongtheenterprises，productqualityrelatestothesuccessorfailureofthebusinessenterprise．SPC，StatisticalProcessControl，iSonekindofimpo

5、rtantimplementofthecontrolqualifywhosesy’stemismainlytocarryoutrealtimesupervisoryandscientificallydistinguishfluctuationofproductquailfyjseitherrandomorabnormalincourseofproducingthroughapplyingstatisticanalysis．TherebySPCsystemisabletopredictwarningtotheabnormaltrendintheproduction，thenproductma

6、nagementcanadoptmeasureintimetogetthegoalthatqualifyofproductcanbeimprovedandcontrolled．ByputtingSPCintopracticeinenterprisetorealizetherealtimesupervisorycontrolandforecasttoproductstability,enterprisecanobtainthebenefitthatdiscoveringabnormal，timelyimprovement，cuttingdownCOStofmanufacture，reduci

7、ngadiscard，improvingtheequipmentefficacy，improvinggoodratesofproduct，theproductefficacyandSOon．Thus，itiscrucialtocontrolqualifyinenterprises．ButwhencarryingSPCsystemexecution，thedatacollectioncannotsatisfywithmod