JJG 331-1994 激光干涉比长仪检定规程.pdf

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1、uuu中华人民共和国国家计量检定规程JJG331-1994激光干涉比长仪LaserInterferenceComparator1994一07一12发布1995一01一01实施国家技术监督局发布JJG331-1994产。.0.0.0.口，0.0.0.0.O.O.0.0.0.、激光干涉比长仪检定规程b.。4.。.勺JJG331-1994.。.心VerificationRegulationof代替JJG331-1983.。.洲龟.斌，.‘，.‘，.‘，.‘，.‘〕.‘，.‘，.‘，.‘，.‘，.门，.〔，.‘，LaserInte

2、rferenceComparator本检定规程经国家技术监督局于1994年07月12日批准，并自1995年01月01日起施行。归口单位:中国计量科学研究院起草单位:中国计量科学研究院本规程技术条文由起草单位负责解释标准分享网www.bzfxw.com免费下载JJG331-1994本规程主要起草人:蒋埙(中国计量科学研究院)参加起草人:王黎蓄(中国计量科学研究院)汪德宝(中国计量科学研究院)JJG331-1994目录一概述·······，，，，，，·············，···，················，，···

3、···········，··········‘······，，，，(1)二检定项目和检定条件·.......................................................................(1)三检定要求和检定方法·.......................................................................(2)四检定结果的处理·.................................................

4、............................(6)附录1激光器、测温装置及折射率测量装置的检定要求························⋯⋯(7)附录2测量环境下脉冲当量Q。的计算实例·······································⋯⋯(8)附录3各种温度的饱和蒸气压表······················‘··············，·············⋯⋯(9)标准分享网www.bzfxw.com免费下载ITG331-1994激光干涉比长仪检定规程本规程

5、适用于新制造的、使用中和修理后的激光干涉比长仪的检定。一概述激光干涉比长仪(以下简称比长仪)是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器。它主要用于检定长度至1000mm的一、二等标准金属线纹尺;一、二等标准玻璃线纹尺，以及不确定度优于一等标准金属尺的基准尺。检定长度小于1000mm的激光干涉比长仪其被检项目与要求可参照本规程进行。比长仪的准确度可按线纹尺检定结果的总不确定度(置信水平0.99)分为两类:(A)U=(0.06+OAL)tm(B)U=(0.1+0.1L)tm式中:L—被测长度，mo比长仪主要由He-Ne激光器、

6、干涉仪、机械主体、光电显微镜、温度测量装置与数据处理装置(计算机)等七个部分组成。二检定项目和检定条件比长仪的检定项目和主要检定条件如表1所示。表1序检定类别检定项目主要检定条件号新制的修理的使用中1外观目测++2激光平行光束的均匀性纸屏+++3干涉条纹的对比度及输出信号的质量纸屏、二踪示波器+++4工作台运动直线度0.2”自准直仪++5测量光束与运动方向的一致性专用检具++6工作台运动速度均匀性频率计++平面镜、自准直仪、金7光电显微镜十+属尺、玻璃尺、10"水泡8测量重复性金属尺、玻璃尺+++殷钢尺、石英尺、9比长仪的

7、准确度+++玻璃尺注:表中“+”表示检定，“一”表示可不检定。JJG331-19942检定比长仪时的环境温度应为24℃左右，具体要求见12.2.1项中的表30三检定要求和检定方法3外观3.1要求:新制造的、修理后或使用中的比长仪其导轨均不能有锈蚀与碰伤;应用气浮导轨的比长仪其气源过滤应正常。3.2检定方法:手感和目力观察。4激光平行光束的均匀性4.1要求:光斑的亮度要均匀。4.2检定方法:用白色纸屏观察。5干涉条纹的对比度及输出信号的质量5.1干涉条纹的对比度5.1.1要求:干涉条纹要亮暗分明。5.1.2检定方法:用白色纸

8、屏观察。5.2输出信号的质量5.2.1要求:干涉条纹经光电转换后的信噪比、1m行程内的幅值变化和位相差的变化，均必须满足比长仪能正常工作的要求。5.2.2检定方法:二踪示波器实时动态监测。6工作台运动的直线度6.1要求:新制的与修理后的比长仪，在1m行程内垂直与水平方向的直线度应小于2"，扭曲小于4";