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时间:2019-01-31
《JJG331-1994-激光干涉比长仪.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、uuu中华人民共和国国家计量检定规程JJG331-1994激光干涉比长仪LaserInterferenceComparator1994一07一12发布1995一01一01实施国家技术监督局发布JJG331-1994产。.0.0.0.口,0.0.0.0.O.O.0.0.0.、激光干涉比长仪检定规程b.4。.。.JJG331-1994勺.。VerificationRegulationof代替JJG331-1983.心.。.洲龟.斌,.‘,.‘,.‘,.‘,.‘〕.‘,.‘,.‘,.‘,.‘,.门,.〔,.‘,LaserInterferenceComparator本检定规程经国家技术
2、监督局于1994年07月12日批准,并自1995年01月01日起施行。归口单位:中国计量科学研究院起草单位:中国计量科学研究院本规程技术条文由起草单位负责解释JJG331-1994本规程主要起草人:蒋埙(中国计量科学研究院)参加起草人:王黎蓄(中国计量科学研究院)汪德宝(中国计量科学研究院)JJG331-1994目录一概述·······,,,,,,·············,···,················,,··············,··········‘······,,,,(1)二检定项目和检定条件·...............................
3、........................................(1)三检定要求和检定方法·.......................................................................(2)四检定结果的处理·.............................................................................(6)附录1激光器、测温装置及折射率测量装置的检定要求························⋯⋯(7)附录2测量环境下脉冲当量Q。的计算实例···
4、····································⋯⋯(8)附录3各种温度的饱和蒸气压表······················‘··············,·············⋯⋯(9)ITG331-1994激光干涉比长仪检定规程本规程适用于新制造的、使用中和修理后的激光干涉比长仪的检定。一概述激光干涉比长仪(以下简称比长仪)是用激光波长直接检定线纹尺的工作基准类仪器。它主要用于检定长度至1000mm的一、二等标准金属线纹尺;一、二等标准玻璃线纹尺,以及不确定度优于一等标准金属尺的基准尺。检定长度小于1000mm的激光干涉比长仪其被检项目与要
5、求可参照本规程进行。比长仪的准确度可按线纹尺检定结果的总不确定度(置信水平0.99)分为两类:(A)U=(0.06+OAL)tm(B)U=(0.1+0.1L)tm式中:L—被测长度,mo比长仪主要由He-Ne激光器、干涉仪、机械主体、光电显微镜、温度测量装置与数据处理装置(计算机)等七个部分组成。二检定项目和检定条件比长仪的检定项目和主要检定条件如表1所示。表1序检定类别检定项目主要检定条件号新制的修理的使用中1外观目测++2激光平行光束的均匀性纸屏+++3干涉条纹的对比度及输出信号的质量纸屏、二踪示波器+++4工作台运动直线度0.2”自准直仪++5测量光束与运动方向的一致性专
6、用检具++6工作台运动速度均匀性频率计++平面镜、自准直仪、金7光电显微镜十+属尺、玻璃尺、10"水泡8测量重复性金属尺、玻璃尺+++殷钢尺、石英尺、9比长仪的准确度+++玻璃尺注:表中“+”表示检定,“一”表示可不检定。JJG331-19942检定比长仪时的环境温度应为24℃左右,具体要求见12.2.1项中的表30三检定要求和检定方法3外观3.1要求:新制造的、修理后或使用中的比长仪其导轨均不能有锈蚀与碰伤;应用气浮导轨的比长仪其气源过滤应正常。3.2检定方法:手感和目力观察。4激光平行光束的均匀性4.1要求:光斑的亮度要均匀。4.2检定方法:用白色纸屏观察。5干涉条纹的对比
7、度及输出信号的质量5.1干涉条纹的对比度5.1.1要求:干涉条纹要亮暗分明。5.1.2检定方法:用白色纸屏观察。5.2输出信号的质量5.2.1要求:干涉条纹经光电转换后的信噪比、1m行程内的幅值变化和位相差的变化,均必须满足比长仪能正常工作的要求。5.2.2检定方法:二踪示波器实时动态监测。6工作台运动的直线度6.1要求:新制的与修理后的比长仪,在1m行程内垂直与水平方向的直线度应小于2",扭曲小于4";使用中的比长仪上述两项指标分别为4"和5006.2检定方法:用a.2"自准直仪在工作台的
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