激光干涉仪检定规程-草

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1、JJG××××—××××激光干涉仪检定规程1范围本规程适用于激光干涉仪的首次检定、后续检定。2引用文献本规程引用下列文献：JJF1001—1998《通用计量术语及定义》JJF1059—1999《测量不确定度评定与表示》JJF1094—2002《测量仪器特性评定》JJGxxxx-2005<633nm激光波长检定规程>(编号待批)JJGxxxx-2005<激光小角度测量仪检定规程>(编号待批)JJG860-1994压力传感器检定规程使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3术语激光干涉仪非线性：指激光干涉仪为了获得高分辨力，在对干涉条纹进行相位细分时引起的测长误差。4概述激光干涉

2、仪是以激光波长为测量标准，进行位移，直线度，角度等几何量测量的高精度、多功能计量仪器。它利用两束频率相同并具有固定位相差的激光束，或两束有微小固定频率差的激光束，一束作为参考光束，另一束作为测量光束，进行干涉测量的仪器。工业激光干涉仪主要用于机床、加工中心、三坐标机等设备的检测，主要包括激光头，电箱（其中包括数据传输卡），光学组件，计算机，环境参数传感器、测量软件等。5计量性能要求5.1激光真空波长测量不确定度激光真空波长的测量不确定度应优于6´10-8（k=2）。5.2位移示值误差5.2.1标准空气条件下的位移测量的最大示值误差应优于±(0.03+0.5´10-6L)mm。5.2.2使

3、用空气参数补偿单元的位移测量最大示值误差应优于±(0.03+1.5´10-6L)mm。5.3环境参数示值误差5.3.1空气温度测量的最大示值误差应优于±0.55°C。5.3.2空气压力测量的最大示值误差应优于±240Pa。5.3.3空气湿度测量的最大示值误差应优于±30%RH。5.3.4材料温度测量的最大示值误差应优于±0.1°C。5JJG××××—××××5.4角度分度误差5.4.1小角度的最大零起分度误差应优于：二级：±（0.2+0.2%）²。三级：±（0.2+0.6%）²。5.4.2转台的最大分度间隔误差应优于±1²。5.5直线度测量示值误差5.5.1短直线度测量的最大示值误差应优

4、于±（1%´R+0.5mm+0.15M2mm）。5.5.2长直线度测量的最大示值误差应优于±（2.5%´R+5mm+0.015M2mm）。式中R:测量读数，M:测量时直线度干涉镜与直线度反射镜之间的距离（单位米）5.6非线性分辨率优于2nm的激光干涉仪的非线性应优于0.02mm6通用技术要求6.1外观6.1.1仪器表面应有清晰的制造厂名或商标、型号、出厂编号，并且标志应固定可靠。6.1.2激光干涉仪的必要附件应齐全6.1.3激光干涉仪的各工作表面不应有影响使用的锈蚀、碰伤、明显的划痕以及影响测量的其它缺陷。光学部件的表面不应有水迹、油迹、灰尘、擦伤、霉点和麻点等，胶合面不应有脱胶现象，镀

5、膜面应无脱膜腐蚀现象。6.2仪器各部分相互作用6.2.1各紧固部分应牢固可靠，各调整部分应灵活平稳，无卡滞和松动现象。6.2.2激光头与分光镜组以及反射镜组之间的相互位置应调整方便，安置后应保持不变。6.2.3计算机与激光干涉仪系统的连接可靠，线路通畅。6.3预热时间激光干涉仪开启后20分钟内应进入稳定状态。7计量器具控制计量器具控制包括首次检定、后续检定。7.1检定项目激光干涉仪的检定项目见表17.2检定条件7.2.1检定前仪器应在规定的温度下恒温时间不得少于4小时。7.2.2检定环境要求5JJG××××—××××位移测量：温度(20±1)°C。直线度测量：温度(20±0.5)°C。非

6、线性测量：温度(20±0.5)°C。气压传感器测量：温度(20±3)°C。湿度传感器测量：温度(20±5)°C。表1检定项目和检定设备一览表序号检定项目主要检定工具检定类别首次检定后续检定1外观及相互作用目视检查++2仪器预热时间钟表++3激光波长准确度碘稳频激光系统，频率计，频谱仪等4线性位移示值误差激光干涉比长仪，高精度激光干涉仪(0.14mm/m，k=2)++5环境参数传感器示值误差5.1空气温度传感器二等铂电阻温度计，恒温槽(温度均匀性±0.01°C)，数字电压表(电阻测量最大示值误差小于±0.001W)等++5.2气压传感器气压密封罐(气压稳定性优于10Pa/2分钟)，气压调节

7、器，数字气压计(最大示值误差优于±0.02%)++5.3湿度传感器湿度计(最大示值误差优于±3%RH)++5.4材料温度传感器同5.1++6激光回转轴系统示值误差，角度测量示值误差激光小角度测量仪，多齿分度台++7直线度示值误差微位移工作台，激光干涉仪（1.0mm/mk=2）++8非线性[1]拍频激光干涉仪系统(2nmk=2)++注：1.激光干涉仪的分辨率优于2nm时需检非线性误差5JJG××××—××××2.表中“＋”表示必须检定