XL-80型激光干涉仪操作规程.pdf

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1、激光干涉仪操作规程1、本规程适用范围适用于专职从事激光干涉仪测量工作的作业指导。2、作业目的2.1对仪器设备操作人员的具体操作进行正确的理论指导；2.2对该仪器设备操作的初学人员的培训提供正确的指导规范；3、作业前的准备3.1熟悉激光干涉仪的正确操作步骤；3.2检查激光干涉仪机箱中的各个部件、相关配套装置和所需工具是否齐全；4、作业过程4.1三脚架安装。将三脚架从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处理。用钥匙打开仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。4.2XL-80激

2、光头的安装、调整。4.2.1用右手拇指与其余四指分开，正确抓住XL-80激光头，左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁手柄推到松开位置后，置于三脚架的云台自锁螺母上，慢慢转动激光头，使自锁手柄与云台自锁螺母正确结合，锁紧手柄自锁。要求：激光头射出的光束应与被测元素相对运动方向平行或一致。4.2.2释放云台所有旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位置，锁紧4.2.3从机箱中拿出微型水平仪，置于激光头中间位置，通过三脚架调节激光头的整体水平。4.3预热激光头。从机箱中取出激光头电源线和一条XL-LCXCUSB电缆组件数据线，

3、将其正确插入相应接口，电源插头插入电源，数据线另一端口插入电脑USB接口。打开电源开关，激光头进入预热状态。将激光头的镜头光闸旋转到找正光源状态位置。激光头发射出激光束，但此时的激光束是频闪不稳定状态。4.4安装补偿单元：4.4.1从箱中取出强磁力吸盘，将其安装在被测元素固定部位处（安装时注意安全，防止吸盘磁力夹手）。4.4.2取出材料温度传感器（M）和空气温度传感器（A）；4.4.3将材料温度传感器（M）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素的被测材料上，另一端接口通过XC-80补偿器的第二、第三或第四个接口与XC-80补偿器相连接

4、，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。4.4.4将空气温度传感器（A）带有传感器一端通过永磁体固定到被测元素固定表面上，另一端接口与XC-80补偿器的第一个接口（标志为☌）相连接，接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。4.4.5XC-80补偿器正确卡入在强磁力吸盘上。4.4.6取出另一条XL-LCXCUSB电缆组件数据线正确连接到XC-80补偿器和电脑USB接口上。4.5安装光学镜组件。4.5.1从箱中取出两块永磁体座和三个连接杆，将连接杆分成两组分别旋在两块永磁体座上，用加力杆旋紧，备用。4.5.2将一永磁体座固定在被测元素相对主体运动部

5、分的适合位置上，另一永磁体座固定在被测元素相对主体静止部分的适合位置上。要求：相对主体运动部件永磁体座在相对主体静止部件永磁体座与激光头之间的位置，并且一定靠近对主体静止部分的最近位置处。4.5.3取出线性干涉镜、参考反射镜和干涉镜固定架，待激光头发出激光后，将其正确组合后固定在被测元素相对主体运动部分永磁体座的连接杆上，高度是激光头发射的激光刚好从中心穿过的高度。要求：1、干涉镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合干涉镜组。2、干涉镜的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。4.5.4箱中取出线性反射镜及

6、反射镜固定架，将其正确组合后固定在被测元素相对主体静止部分永磁体座的连接杆上，高度是反射镜中心刚好能够反射激光的位置高度。要求：1、线性反射镜箭头方向就是激光行进方向，一定正确组合线性反射镜组。2、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。4.6找正光源。4.6.1被测元素位置确认。确认被测元素相对主体运动部分上面的线性干涉镜组距离被测元素相对主体静止部分上面的反射镜组最近。4.6.2反射镜组的反射光源找正。轻微移动固定有反射镜组的永磁体座，使激光束进入反射镜组后正确返回到激光头接收位置点上。4.6.

7、3找正干涉镜的干涉后光源。将固定有干涉镜的永磁体座加入上步调整好的激光束中使其产生干涉行为，轻轻移动永磁体座使干涉后的激光束正确返回激光头接收位置点上（此时干涉镜与光束平行的边棱应与干涉镜的其中一个边棱平行或垂直），找正光源第一步完成。4.6.4远离反射镜组最大位置的光源找正。移动被测元素相对主体运动部件远离装有反射镜组相对主体静止部件达到最远处。用长度计量仪器测量相对距离并记录数据，为下一步测量做好基础。根据该激光干涉仪使用中“远调激光，近调镜组”对光原则，观察测量光束与参考光束的不重合实际，采取相应方法进行调整：两束光束偏离较远时

8、调整激光头使其尽可能的重合到一起，如达不到重合效果效果，再进一步将干涉镜组或反射镜组沿着三维空间中与激光束垂直平面内的两个方向进行移动，直至测量光束与参考光束重合并射入激光头接收位置点上。（着重：此关键按步骤中，该仪器所