J BT5610-2006-激光干涉仪.pdf

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1、ICS17.040.30J42备案号:19056一2006中华人民共和国机械行业标准JB/T5610一2006代替JB/T5610一1991激光干涉仪Laserinterferometer2006一10一14发布2007一04一01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布J卫jT561仆es206目次前言.””“””””二”.”””””“，..一”.”.“.”””..-....-.-..一“..一”.””.“.⋯.”““”...⋯⋯”””.””“”:.m1范围.”””二”.一””““.”“””””.“.

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4、干涉仪预热时间.”“”“.二.一”.”“””.”””“:.”””””⋯.““..-....⋯⋯““.“”””““.”.价.“.25.4单次开机激光频率稳定时间.“”.“....一”二”””.”⋯””””.””.“”.⋯“.一”””二““”.’“”.25.5激光干涉仪准确度.””“:.“.一“一””””””“.”””””......一“-..-..一””.“”.⋯““....一价.25.6量程.“”:.”“”“...一”一““”““.”.“-.一””二”.””“.”价.””.....--.-⋯.””““““

5、“.”“价二25.7测量速度.””“”..-..一””.””““”“..-一”..一”“.“.“-.⋯.””””.””⋯.⋯.”一”.”:.”“.”.价二35.8激光波长准确度二”.“””””“”“““⋯”.”“”””””””:.“.”””价“““:.“..一””“”””“””“.”““.“.’...一35月抗电磁干扰.“”“““⋯⋯.”二””””””““一”.-.，....一”一”一”.”⋯“.“”“””...’-..一”.”””“”“.”“”””二36检验规则.”.”“..⋯.”””:.””“”““.

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8、B理561仆一2006前言本标准代替JB厅5610-一1991《双频激光干涉仪》。本标准与JB厅5610一1991相比，主要变化如下:—标准的名称改为“激光干涉仪”，并重新定义了“激光干涉仪”术语:-一标准的范围改为“适用于几何量测量’、一一删去了第3章中的3.2条“分辨率”:第4章表1中的“分辨率”改称“分辨力”，分辨力改为(0.16林1刀:—将术语“响应速度”改称为“最大测量速度”，并重新定义了“最大测量速度”术语，最大测