激光干涉仪检测方法

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1、FANUC、OKUMA机床的激光干涉仪检测方法一、光的相干性二、激光干涉法测距原理三、FANUC螺补参数的设定四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法五、FANUC的检测用程式六、OKUMA螺补参数的设定七、OKUMA检测程式八、检测值输入的方法一、光的相干性相長性干涉  當兩個波長相同的光束波形同步射出時，其波峰位置會如下圖2一般重合，固稱為“相長性干涉”。在相長性干涉的情況下，輸出波的振幅等於兩個輸入波的振幅之和。•相消性干涉     當兩個相干光束波形以180°的相位差異步射出時，一個輸入光束的波峰位置會如下圖3一般與另一個輸入光束的波谷重合，固稱為

2、“相消性干涉”。在相消性干涉的情況下，兩個輸入波會互相抵消而產生暗淡的光二、激光干涉法测距原理图片：根据光的干涉原理，两列具有固定相位差，而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象，如图所示。由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和透射光束S2。两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光S1和S2的路程差为Nλ(λ为波长，N为零或正整数)，实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大。当S1和S2的路程差为λ/2(或半波长的奇数倍)时，合成光的振幅和为零，此时光强最小。激

3、光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以利用干涉法测距的分辨率至少为λ/2，利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。因此，用激光干涉法测距的精度极高。激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成三、FANUC螺补参数的设定FANUC0i、16M、18M3620各轴参考点的补偿号3621负方向的最小补偿点号3622正方向的最大补偿点号3623螺补量比率3624螺补间隔1

4、851背隙补偿FANUC15M5420各轴参考点的补偿号5421负方向的最小补偿点号5422正方向的最大补偿点号5423螺补量比率5424螺补间隔1851背隙补偿FANUC0M11/0.1螺补倍率712-715螺补间隔756-759螺补间隔1000,20003000,4000补偿基准点1001-11282001-21283001-31284001-4128补偿值535-538背隙补偿注：P11.1,P11.0组合形式：00X101X210X311X4四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法例子:X轴行程：-1000mm－0mm，参考点为0ｍｍ，基准点编号为

5、20，间隔距离为100ｍｍ，补偿倍率为１负方向补偿号＝基准编号－（负方向行程／间隔）＋1　　　　　　＝20－1000／100＋1＝11正方向补偿号＝基准编号＋（正方向行程／间隔）＋1　　　　　　＝20＋0／100＋1＝21五、FANUC检测用程式FANUC检测用的宏程式有A类宏程序和B类宏程序两种。FANUC0i,15M，18M采用B类宏程序，0M采用A类宏程序。使用B类宏程序有两种编程方法。例子：行程为1000mm,间隔为100mm,采用双方向编程。程式1如下：G54G90G00X0X-1G04X3#100=0N123X#100G04X5#100=#100+1

6、00IF[#100LE1000]GOTO123X1005G04X3#101=1000N234X#101G04X5#101=#101-100IF[#101GE0]GOTO234M00M30注:GE≥LE≤GT>LT

7、-1G04X3G65H01P#100Q0;(#100=0)/G65H01P#iQ#j/代码:H01功能:定义,替换,赋值定义:#i=#jN123X#100G04X5G65H02P#100Q#100R100;(#100=#100+100)/G65H02P#iQ#jR#k/代码:H02功能:加法定义:#i=#j+#kG65H86P-123Q#100R1000;(IF[#100LE1000]GOTO123)/G65H86PnQ#jR#k/代码:H86功能:条件转移定义:IF#j≤#k,GOTOnX1005G04X3G65H01P#101Q1000N234X#101G0

8、4X5G65H03P#1