JJG371-1992-激光量块干涉仪.pdf

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1、UU}G中华人民共和国国家计量检定规程JJG371-1992激光量块干涉仪LaserGaugeBlockInterferometer1992一02一15发布1992一08一01实施国家技术监督局发布JJG371-1992激光量块干涉仪检定规程乙C弓夕乙0VerificationRegulationofLaser}JJG371-1992}乙0乙4GaugeBlockInterferometer本检定规程经国家技术监督局于1992年02月15日批准，并自1992年08月01日起施行。归口单位:航空航天工业部第三O四研究所起草单位:航空航天工业部第三O四研究所本规程技术条文由起草单位负

2、责解释JJG371-1992本规程主要起草人:尹承志(航空航天工业部第三0四研究所)JJG371-1992目录一概述·............................................................................................(1)二检定项目和检定条件·.......................................................................(1)三技术要求和检定方法·...........................................

3、............................(2)四检定结果的处理。.............................................................................(8)JJG371-1992激光量块干涉仪检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的JLG型激光量块干涉仪的检定。一概述JLG型激光量块干涉仪是以兰姆凹陷稳频的He一Ne激光波长为标准，用干涉条纹脉冲自动计数的方法测量长度至1000mm量块的标准仪器，它主要用于量块的中心长度和长度变动量的直接测量。仪器主要由白光定位干涉系统、激光测长干涉系统、专用

4、计算机、折射率测量装置(瑞利干涉仪)、温度测量装置等部分组成。仪器在测量量块的中心长度时，测量总不确定度为士(0.03+0.21)tem,l为被测量块的标称长度，单位为mo仪器的光学系统如图1所示。二检定项目和检定条件激光量块干涉仪的检定项目和主要检定工具如表1所示。表1检定类别序号检定项目主要检定工具新制的修理后使用中1外观目测+++2各控制键的功能手感、目测+++3稳频He一Ne激光光源按检定规程+++4白光定位系统纸屏、示波器、量块、平晶+++5激光测长系统纸屏、示波器++十6投影系统量块、平晶+++7空心立体棱镜的运动状态校正棒、准直仪、频率计++8小量块工作台的功能量块

5、、平晶+十+JJG371-1992表1(续)检定类别序号检定项目主要检定工具新制的修理后使用中9大量块工作台的功能量块、平晶十++10专用计算机+十+11温度测量装置按检定规程++十12折射率测量装置测温装置、气压计、湿度计十十+13示波器按检定规程+++14电源按检定规程+十+15平面平晶按检定规程++十16测量的重复性量块、平晶十++注:表中“+”表示应检定，“一”表示可以不检定。2检定期间，放置仪器的恒温室的温度必须昼夜连续保持(2010.2)C,温度变化速率不大于0.2C/ha3检定量块长度时，恒温室的温度必须连续保持(20土0.1)C,温度变化速率不大于0.1C/ho三

6、技术要求和检定方法4外观4.1要求:仪器应整洁，光学件应无油迹、灰尘、霉点等污物，通过投影屏观察，应视场清晰，照明均匀，亮度适中。4.2检定方法:目力观察。5各控制键的功能5.1要求:工作正常、灵敏、可靠。5.2检定方法:依次按下控制台和保温罩外的各控制键，观察仪器的反应。6稳频He一Ne激光光源6.1要求:应使用兰姆凹陷稳频的He-Ne激光管发出的1=0.6331Am的光波作为测2dIG371-1992端械缺端洲~洲IU二----------------------一oK一峨袅十训孚爹︸岌面一喇渊圈娜把皿图1干涉仪的光学系统1一白光光源;2-聚光镜;3一光阑;4一消色差透镜;5

7、一析光镜;6一补偿镜;7一反射镜;8,8一被检量块;9,9‘一平晶;10一会聚物镜;11-固定参考镜;12一空心立体棱镜;13一光阑;14一胶合光阑;15一反射镜;16一光电倍增管;17-$H,一氖激光管;18一扩束透镜(1);19一扩束透镜(2);20一移相分光镜;21,22一空心立体棱镜;23,24一空心直角镜;25,26一光电倍增管;27一白光光源;28-聚光透镜;29-狭缝30-辅助干涉仪物镜;31一双缝光阑;32,33一真空气室管;34一色差补偿片;35一补偿片;36-