论电子级氢氟酸的纯化技术及其发展.pdf

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1、第42卷第5期新材料与新技术化工设计通讯2016年5月NewMaterialandNewTechnologyChemicalEngineeringDesignCommunications论电子级氢氟酸的纯化技术及其发展陈　林，邵　勇，朱　龙（江阴江化微电子材料股份有限公司，江苏江阴214400）摘　要：磷矿石作为氟生产的主要原料，受到国家限制后，对于氟产品有了一定的影响。随着国际经济的快速发展，半导体产业也迅速发展。电子级氢氟酸是半单体的主要化学原料。从电子级氢氟酸纯化技术的现状和未来发展两个方面展开了研究，意在探索纯化技术的发展

2、，以及对于萤石产生战略性保护，为经济和社会创造更大的效益。关键词：电子级氢氟酸；纯化技术；配套技术中图分类号：TQ124.3文献标志码：B文章编号：1003–6490（2016）05–0062–02OnElectronic-GradeHydrofluoricAcidPurificationTechnologyanditsDevelopmentChenLin，ShaoYong，ZhuLongAbstract：Afterduephosphaterockasthemainrawmaterialfortheproductionoffluo

3、rinebythenationallimitforfluorideproductshaveacertaininfluence.Withtherapiddevelopmentoftheinternationaleconomy，thesemiconductorindustryhasdevelopedrapidly.Electronicgradehydrofluoricacidisthemainchemicalrawmaterialsandahalfmonomers.Fromthecurrentsituationofelectronic

4、-gradehydrofluoricacidpurificationtechnologyandthefuturedevelopmentoftwoaspectsoftheresearchisintendedtoexplorethedevelopmentofpurificationtechnology，andproducethefluoritestrategicconservationtocreategreaterbenefitsfortheeconomyandsociety.Keywords：electronicgradehydro

5、fluoricacid；purificationtechniques；techniques电子级氢氟酸是一种无机酸，通常情况呈无色且透明液体，的要求。当前电子级氢氟酸就是高纯度的纯化产物，可以直易挥发，有强烈的刺激性气味。氢氟酸的腐蚀性很强，大多数接应用于普通集成电路和大型集成电路的生产中，可以通过金属均会与其发生反应，并会对于金属造成腐蚀。高纯度的氢其与金属的反应和腐蚀作用清洗芯片。光伏产业中，高纯度氟酸主要在电路中有广泛的应用，故成了集成电路板中不可或的氢氟酸同样可以对光伏电器元件产生良好的清洗效果。电缺的一部分。同时LED中

6、也需要大量高纯度氢氟酸作为面板的池、液晶电视、LED等都需要高纯度氢氟酸的纯化产品对其制造原料。高纯度的氢氟酸对于集成电路的安全性有着至关重进行工艺优化。但是，电子级氢氟酸产品主要集中在清洗这要的作用，纯度越高，集成电路的安全性越好。与此同时氢氟一块的发展，其他功能有待开发。酸的纯度与集成电路板的传导性也有一定的关联，故高纯氢氟2.2电子级纯化氢氟酸技术存在的问题和发展建议酸的提取技术与工艺对于集成电路的发展有着重要意义。同时光伏行业和集成电路产业的迅速发展，对于高纯度氢氟高纯度氢氟酸对于其他化学产品也有着重要意义。酸的产量也受到

7、越来越多的重视。国内在电子级氢氟酸的纯1电子级氢氟酸的纯化技术的现状化技术上还有所不足，大部分属于低端的产物，无法达到市当前，对于高纯度的氢氟酸制造与提取主要依赖一些蒸场需求，也不具备国际竞争力。馏提取的方式，蒸馏提纯又在工艺上有所差别。故分为精馏、氟化工本身含有较高的技术水准，其产生的附加值和工蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等。以上提纯工艺主业应用性也是极高的，一直享有很高的关注度。国内对于氟要是提取过程中运用温度等条件的把控，将杂质一步步分离，化工产品的研究却并不乐观，技术没得到及时更新和创造，得到纯度相当的氢氟酸。电子级

8、的氢氟酸本身要求很高水准很多时候只是实现了基本的量化，而无法生产具有实际竞争的提纯工艺，属于精细化学应用领域。根据用途的不同，电水准的新产品，多数雷同。一系列的问题导致了今天氢氟酸子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。我国开始氢氟酸产品低端