电子级过氧化氢的纯化技术及其发展现状.pdf

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1、磷肥与复肥2012年1月·1O·Phosphate&CompoundFertilizer第27卷第l期◆综述◆电子级过氧化氢的纯化技术及其发展现状刘飞，刘海‘，陶志，杨正光(1．瓮福(集团)有限责任公司，贵州福泉550501；2．贵州大学化工学院，贵州贵阳550003)[摘要]对不同级别过氧化氢的用途作了简要叙述，详细介绍了电子级过氧化氢的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。[关键词]电子级过氧化氢；质量标准；纯化技术；发展现状[中图分类号]TQ123．6[文献标志码]A[文章编号]1007—6220(2012

2、)0l一0010—03PurificationtechnologyofelectronicgradehydrogenperoxideanditsdevelopmentstatusLIUFei一，LIUHai，TAOZhi，YANGZheng—guang(1．Wengfu(Group)Co．，Ltd，Fuquan，Guizhou550501，China；2．SchoolofChemicalEngineering，GuizhouUniversity，Guiyang，Guizhou550003，China)Abstract：The

3、useofhydrogenperoxideatdifferentlevelsisbrieflydescribed．Theapplicationfield，qualitystandard，purificationtechniquesofelectronicgradehydrogenperoxideanditsdevelopmentstatusareintroducedindetail．Keywords：electronicgradehydrogenperoxide；qualitystandard；purificationtec

4、hnology；developmentstatus过氧化氢用途十分广泛，根据杂质含量的不1电子级过氧化氢质量标准同，一般将其分为工业级、食品级和电子级等。工业目前国内外对电子级过氧化氢指标的划分不级过氧化氢主要用作氧化剂、漂白剂、消毒剂和脱氧一，没有统一的标准。由于世界超净高纯试剂市场剂，如棉织及纸浆漂白，有机和高分子合成，有毒的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家废水的处理等；食品级过氧化氢主要用于对食品漂也在增多，生产规模在不断扩大。超净高纯试剂的白、消毒等；电子级过氧化氢属高纯化学品，是电标准可分为4类：1)国际

5、半导体设备和材料协会子工业中十分重要的电子化学品，广泛应用于大规推出的SEMI质量标准；2)德国默克(MERCK)模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT—LCD)、为代表推出的欧洲质量标准；3)关东(Kanto)、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂，和光(wako)等为代表推出的日本质量标准；4)如硅片清洗剂、光刻胶的剥离剂、印刷电路板蚀刻IREA为代表推出的俄罗斯及独联体地区质量标剂等，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电准。近年来，它们的指标逐步接近。国内高纯过氧性能、可靠性等都有着重要的影响。化氢有4个标

6、准，主要由北京化学试剂研究所起近年来，随着我国微电子工业的高速发展，中草，现有高纯试剂(GB2300---1980，见表1)、MOS国大陆逐步成为全球较大的LCD产业基地，对用于级、BV级和MOS—VLSI级等，这些标准已经滞后大规模集成电路、薄膜液晶显示器和半导体等清洗于实际半导体生产的需要。SEMI标准在世界范围和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，电子化学内影响最大，已成为国内厂家主要的参考标准，品市场销售规模将超过200亿元，成为化工行业中BV—I、BV—m、BV—Iv术目当于SEMIGrade1、发展速度最快、最具活

7、力的产业之一。随着半导体SEMIGrade2、SEMIGrade3。芯片制造业和LCD制造业向我国的转移，我国电子[收稿日期]2011—06—03级过氧化氢的用量将会有大幅增长，这为我国电子[作者简介]刘飞(1979一)，男，江西安义人，工程师，主要从事级过氧化氢提供了极大的发展空间。磷化T1二艺的研究。E—mail：liufei3001@126．COIl2012生第27／~g1期刘飞等电子级过氧化氢的纯化技术及其发展现状·11·表1GB2300--1980高纯过氧化氢指标％Al、Ca、Fe、Mg、Na和Zn质量分数均低于l

8、xl0一。项目指标项目指标天津市东方化工厂研究了使用精馏生产电子级(H0)≥30W(Cr)≤2x10过氧化氢的新方法，采用两步法工艺路线：1)选酸度W(HSO)≤3x10(Mn)≤5xl0用有效的抗氧化树脂去除原料中的有机杂质；2)氯化物W(C1)≤lxl0W(Fe)≤1×l0。精馏去除无