场发射电子显微镜系统技术参数.doc

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1、场发射扫描电子显微镜系统技术参数一、货物名称及数量：场发射扫描电子显微镜系统一台二、主要技术规格及要求2.1基本要求2.1.1发射源：热场发射电子枪*2.1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计*2.1.3分辨率：0.8nm@15kV1.6nm@1kV*2.1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调*2.1.5放大倍数范围：12X－1,000,000X，连续可调2.1.6探针电流：范围4pA-20nA，连续可调稳定度优于0.2%/h2.1.7减震方式：自动水平系统2.2真空系统2.2.1样品室极限真空度：≤2×10-4Pa2.2.2换样抽真空时间：小于3min。

2、2.3样品室及样品台*2.3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径520mm，高度300mm2.3.2集成8英寸样品交换室*2.3.3配备四个探测器：环形高效完全内置式In-lens二次电子探测器样品室内ETSE二次电子探测器4QBSDAsB背散射电子探测器样品室内红外CCD摄像机*2.3.4样品台：类型6轴全自动马达驱动超优中心样品台安装抽屉式控制双操纵杆控制盒*2.3.5样品台马达移动范围（不小于）：152mm（X方向），152mm（Y方向），43mm（Z方向），10mm（Z’方向），-15-60°（倾斜），360°（旋转）2.3.6能谱仪工作条件：工作距离8.5mm，X射线出射角3

3、5°*2.3.7物镜光栏：数量不少于6孔更换与对中方式电磁式2.4图像处理系统2.4.1配套计算机系统（不低于）：CPUIntelPentium2Quad;2.33GHzQuadCore，RAM4Gb，硬盘1TB，光盘刻录机，19″TFT显示屏，键盘，鼠标，USB接口。2.4.2显示图像分辨率：不小于1024×768像素2.4.3最大存储图像分辨率：不小于3072×2304像素2.4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG2.4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加2.5控制系统2.5.1操作系统WindowsXP，电镜操作控制软件。2.5.2自动功能：自动电子枪启动，电

4、子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。2.5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。3、附件及备件3.1X射线能谱仪3.1.1探测器：3.1.1.1硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体实际面积不小于30mm2，有效采集面积不小于20mm2,场效应管（FET）与晶体分离，独立封装；适合低电压或小束流分析，可以分析纳米尺度的元素成份，有效延长灯丝寿命。3.1.1.2活性区面积：20mm23.1.1.3分辨率：MnKa优于127eV；在不同计数率下谱峰稳定

5、，分辨率变化小于1eV。3.1.1.4探测元素范围：Be(4)到Pu(94)3.1.1.5免维护性：无需加液氮，帕尔帖制冷，随时可以断电，探头不结霜。3.1.1.6输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰无畸变，可处理最大计数率优于750,000CPS3.1.2软件系统：3.1.2.1分析导航器。3.1.2.2全中文软件操作界面。3.1.2.3信息管理系统。3.1.2.4实验报告系统。3.1.2.5元素面分布分析软件。具备点、线、面扫描分析功能，高帽法扣除背景避免人为误差，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法。3.1.2.6电子束任意

6、定位和分析软件。3.1.2.7定性、定量分析软件。采用最先进的XPP修正技术,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析；具有虚拟标样法（间接标样法）以及有标样法（直接标样法）；可以方便的得到归一化和非归一化结果。3.1.2.7离线分析：具备全谱离线分析功能，一次采集全谱元素可以重建和再定量。3.1.2.8轻元素分析准确可靠，空间分辨率好。3.1.2.9图像输出：可在能谱平台上采集电子图像，支持BMP,TIFF,JPEG等流行的图像格式，对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布等。3.1.2.10实验报告：多种输出格式，支持WO

7、RD文档转换和存储。3.1.2.11与电镜联机的相关软件，直接读出电镜参数。3.1.2.12软件版本开放，可以在任意其他数据处理计算机上安装离线软件。3.1.3计算机系统（最低配置）：3.1.3.1IntelCoreCPU3.1.3.2操作系统：WindowsXP3.1.3.3RAM：4GB3.1.3.4硬盘：500GB3.1.3.5显示器：22″彩色LCD显示器3.1.3.6打印机：彩色打印机3.1.3.7DVD/RW刻录光驱3.1.3.8和电镜室烟台一