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1、新製造技術体系，壬"、亍厶・才A・厶」＞Z7-厶・才〉・7^/U厶①加工手法七材料技術2009/03/0200:00加藤伸一匸日経之彳夕口X出典：日経口卢八彳兔，2008年9月号，pp.31・33（記事（止執筆時①情報広基乍H扌50，現在疋肚異卞召場合力'笳Z夕U-y印刷疋17
2、jm（Z）配線（1）U一A印刷怎，半導体層，絶縁膜，金属層，着色層，接着層刷（二使•^技術疋笳?＞。兔力丿一a印刷①利点肚，装置価格力,looo万円程度七安。址，印刷広使用歹召彳y夕材料（二対丁召制約力吵卞＜，材料使用効率力瀚80%七高
3、s,大面積入①成膜（二向〈注2）o注2）/i/SL，加工寸法力•数十/zm比較的大勿、，3O
4、Jm厚以下（二薄膜化L（；＜欠点力,$）^＞°X7I丿一A印刷◎量産加工寸法①微細化力「乙①数年間疋100pm力、e＞30
5、jm去疋進人疋吉上。線幅30pm0加工（止，PDP用①電磁波遮断7彳儿夕向疗人量産化。乙料总17pm（二微細化歹召技術总X夕
6、丿一A印刷機大手6二工一口＞夕精密工業力'開発JZi口＜儿厶基板◎表面人加工总施LfcdttC.toT実現。線幅/線間隔（L/S）30pm未満6汽9一、/总7、刁H一A印刷
7、丁召場合，V^/L厶基板上広押扌召彳A夕①濡;h広力W力,問題§。乞乙疋，同社T（±，表面広多孔質層总形成卜（PET）v^/b厶Q17pm◎配線总印刷丁召技術总開発LA：o-^多孔質層肚＞7^/k厶基板V印刷吸収。，塗布個所①周囲広濡;h広役割总担刁。产齐木儿長lpm夕（2）b塗布u：，着色層，配線層，絶縁層，半導体層卞乂①形成（乙使用歹召。彳a夕＞^x7卜①利点肚，版自吏bT（c平面上①必要卞部分自在（二直描点曲召。^＞7^X7卜塗布（二/召描画寸法①微細化肚，乙①数年間疋数十“m力、e＞20
8、jm程度求疋進
9、人fc/2L通常卜・、;/量産V^）V（D描画寸法U：直径約13pm力、限界。乙料以下◎微細化疋肚，硏究，于忙彳、儿長l
10、jm（7）有機卜严夕总形成例力'出疋吉上。产卡彳、儿長lpm①有機卜7入夕肚，東京大学工学系硏究科量子相工"夕卜口二夕夹硏究乜、丿夕一准教授染谷隆夫氏力,j7MaxPlanckInstituteforSolidStateResearch七共同疋新製造技術体系，壬"、亍厶・才A・厶」＞Z7-厶・才〉・7^/U厶①加工手法七材料技術2009/03/0200:00加藤伸一匸日経之彳夕口X出典：日経
11、口卢八彳兔，2008年9月号，pp.31・33（記事（止執筆時①情報広基乍H扌50，現在疋肚異卞召場合力'笳Z夕U-y印刷疋17
12、jm（Z）配線（1）U一A印刷怎，半導体層，絶縁膜，金属層，着色層，接着層刷（二使•^技術疋笳?＞。兔力丿一a印刷①利点肚，装置価格力,looo万円程度七安。址，印刷広使用歹召彳y夕材料（二対丁召制約力吵卞＜，材料使用効率力瀚80%七高s,大面積入①成膜（二向〈注2）o注2）/i/SL，加工寸法力•数十/zm比較的大勿、，3O
13、Jm厚以下（二薄膜化L（；＜欠点力,$）^＞°X7I丿一
14、A印刷◎量産加工寸法①微細化力「乙①数年間疋100pm力、e＞30
15、jm去疋進人疋吉上。線幅30pm0加工（止，PDP用①電磁波遮断7彳儿夕向疗人量産化。乙料总17pm（二微細化歹召技術总X夕
16、丿一A印刷機大手6二工一口＞夕精密工業力'開発JZi口＜儿厶基板◎表面人加工总施LfcdttC.toT実現。線幅/線間隔（L/S）30pm未満6汽9一、/总7、刁H一A印刷丁召場合，V^/L厶基板上広押扌召彳A夕①濡;h広力W力,問題§。乞乙疋，同社T（±，表面広多孔質層总形成卜（PET）v^/b厶Q17pm◎配線总印刷
17、丁召技術总開発LA：o-^多孔質層肚＞7^/k厶基板V印刷吸収。，塗布個所①周囲広濡;h広役割总担刁。产齐木儿長lpm夕（2）b塗布u：，着色層，配線層，絶縁層，半導体層卞乂①形成（乙使用歹召。彳a夕＞^x7卜①利点肚，版自吏bT（c平面上①必要卞部分自在（二直描点曲召。^＞7^X7卜塗布（二/召描画寸法①微細化肚，乙①数年間疋数十“m力、e＞20
18、jm程度求疋進人fc/2L通常卜・、;/量産V^）V（D描画寸法U：直径約13pm力、限界。乙料以下◎微細化疋肚，硏究，于忙彳、儿長l
19、jm（7）有機卜严夕总形成例
20、力'出疋吉上。产卡彳、儿長lpm①有機卜7入夕肚，東京大学工学系硏究科量子相工"夕卜口二夕夹硏究乜、丿夕一准教授染谷隆夫氏力,j7MaxPlanckInstituteforSolidStateResearch七共同疋開発。有機半導Ag電極总形成。上哲①疋，電極①幅（±2pm，厚m25nm^:$）^＞。通常卜M二ctw量産描画寸法①微細化力殖径13pm程度§<7?i±，吐出疋吉召液滴①量
