半导体工厂超纯水简报.pptx.ppt

《半导体工厂超纯水简报.pptx.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、半导体工厂超纯水简报Mark22/Jul./2014总流程原水1.自来水由原水泵将水抽至CUB(中央动力厂房)。CUB是半导体工厂的心脏，制程用的水电空调化学品等一般都是从这里输出。运行参数：原水一般水量为195m³/h，最大水量为250m³/h，水压3bar。多介质过滤器(MMF/砂滤）1.原水加10%NaOCl后通过热交换器再次加10%PAC后进入多介质过滤器。2.桶内装填石英砂和无烟煤。3.配有风机，定期反洗。用途：主要去除不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数：产水量最大为250m³/h，压力1.5bar，温度20-20℃。玻璃钢水箱(FRP水箱)1.过滤水回收至玻璃钢水箱

2、。2.过滤水箱前有两组泵（每组两台），一组用于反清洗，一组用于给ACF活性炭过滤器供水。3.桶身直径5m，桶高5m。运行参数：出口压力为7bar，温度为20-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司活性炭过滤器(ACF/碳滤）1.三支，内部填充颗粒活性炭。2.此段过滤器分为正洗与反洗，正反洗水都回收至废水池，产水为过滤水。用途：再次处理水中不能溶解的悬浮颗粒和胶体杂物。运行参数：产水量为200-260m³/h，出口压力为6bar，温度20-30℃。阴阳离子交换床1.ACF出水先经过CIX（阴离子桶）加HCl，后AIX（阴离子桶）加NaOH处理，CIX和AIX可以单独运行。用途：处理水中

3、的阴阳离子。2.冲洗水进入过滤水箱，再生水进入废水池，出水为去离子水。运行参数：产水量为207m³/h，压力为3bar，温度为20-30℃。保安过滤器(SFL)1.去离子水加30%NaOH后进入保安过滤器。2.产水为去离子水。用途：微滤过滤器保护后端RO膜，不达标的水质和频繁清洗都会影响RO膜的寿命、提升成本。运行参数：280m³/h，出口压力2.6bar，温度21-30℃。反渗透过滤膜（RO膜）1.RO是前段水处理的核心。2.达标产水进入RO水箱，不达标产水进入过滤水箱，浓水进入废水池。3.产水为反渗透水。运行参数：产水水量为248m³/h，出水压力为2bar，温度为21-30℃

4、；浓水水量为18m³/h，出水压力为2bar，温度为24-30℃。RO水箱1.水箱采用玻璃钢材质，并使用氮气密封。2.RO水箱有三组水泵输出，一组UV供水，一组阴阳离子交换床冲洗水，一组冷凝设备供水。运行参数：产水水量为185m³/h，出口为6bar，温度21-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司紫外线杀菌设备（UV装置）1.两组，一用一备，单组使用44跟紫外灯管。2.出水为反渗透产水。用途：杀灭水中的微生物，降低有机物含量。运行参数：产水水量为185m³/h，出水压力为5.5bar，操作温度26℃。初级混床（MBX混床）1.内装阴离子树脂和阳离子树脂。用途：全面去除水中的阴阳离子

5、，电阻率由4mΩ/cm提升至17-18mΩ/cm。2.定期对混床进行再生，使用HCl和NaOH。3.再生水进入废水池，冲洗水进入过滤水箱，产水为纯水。运行参数：产水量为185m³/h，出口压力为4bar，温度23-30℃。脱气膜(MD)1.由两台真空泵和12支膜壳组成。2.水由上向下流出，气体由下向上抽出，主要气体为CO2和N2。3.出水为纯水进入纯水箱。运行参数：产水水量为180m³/h，出口水压为1.5bar，温度为21-30℃。迈博瑞生物膜技术南通有限公司纯水水箱1.玻璃钢材质，内衬PP，氮封。2.有一组泵输出，输出水为纯水。运行参数：产水水量为230m³/h，出口水压为8.

6、5bar，温度为22-30℃。冷交换器1.纯水进入交换器，温度降低为5℃。2.出水为纯水，进入UV装置。运行参数：产水水量为230m³/h，出口水压为7.5bar。迈博瑞生物膜技术南通有限公司UV装置1.三组紫外线杀菌装置，每组44根灯管。2.出水为纯水进入增压泵。3.运行在恒温5℃环境中。用途：再次杀灭水中细菌，降低有机物含量。运行参数：产水量为230m³/h，出水水压7.5bar。抛光混床（MBP）1.树脂为一次性，使用完后不需要再生。2.出水为超纯水，进入超滤装置。用途：进一步降低水中的阴阳离子含量，提高电导率至18mΩ/cm以上。运行参数：产水量为190m³/h，出水水压为

7、9bar，回纯水箱10m³/h，水压3bar。超滤（UF）1.分两组，抛光混床出水分两路，一路直接进入超滤，另一路通过热交换将水温提升至65-75℃再进入超滤。2.产水送至洁净室内的机台使用，浓水排至过滤水箱。用途：去除水中的非离子状态的细小颗粒物。运行参数：出口水压6bar，温度低温水22℃，高温水70℃。谢谢迈博瑞生物膜技术南通有限公司