台阶仪dektak150用途说明.doc

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1、DEKTAK150台阶仪海关报关设备说明***海关：我公司主要生产超高亮度发光二极管(LED)外延片和芯片，由于生产所需，需从美国台阶仪，型号：DEKTAK150其具体的用途、工作原理及使用说明如下：用途：主要应用于我司发光二极管外延片的薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。工作原理和使用说明：DEKTAK150台阶仪主要应用于我司发光二极管外延片的不同薄膜生长层（如：GAN，SIC2，AU等）的厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。其测量原理是采用触针法接触物体表面，通过纪录探针在物体表面的垂直位移，并通过与同类物质层标准片的量测对比计算做精度校正及应力测量转

2、换，从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。其主要的技术指标：◆垂直分解能/测定范围：0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm（选择：1mm）◆触压：1～15mg（选择：0.03～15ｍｇ）◆测定再现性（1σ）*：0.6nm以下◆测定距离：50μm～55mm◆测定时间：3～200秒◆最大采样数：60,000◆测定台移动距离：Ｘ：±50mm,Y：＋75mm、－25mm手动θ：360°手动◆测定台直径：150mm◆样品观察：视野0.67～4.29mm（514～80倍）色像分析摄像镜头◆O/S：WindowsXP（英语版）◆显示器：17英寸液晶◆外形尺寸：293

3、(W)×510(D)×570mm(H)本体496(W)×674(D)×661mm(H)防风罩＊0.1μm测试片测定、放置震动７０μＧ以下由于LED各种外延层薄膜（GAN，GAAS，SIO2）对膜厚的精度要求有非常高的要求必须达到0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm精度要求，而目前国内尚未提供符合要求的设备。以下为国产表面轮廓测量仪的技术指标：2302型表面轮廓测量仪是一款高精度的大型综合测量仪器，包括粗糙度测量系统、直接轮廓测量系统和形状测量系统。它可以测量和评估粗糙度和直接轮廓参数，还可以测量角度、圆弧半径、相互位置等形状参数。B.主要技术指标：1、测量原理：触针

4、法，电感传感器2、驱动箱水平滑行范围：100mm；3、驱动箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；4、传感器返回形式：手动，自动；5、基准导轨的直线性：1μm/任意40mm；6、驱动箱升降：滚动丝杠升降系统，机动升降，自动对准零位；7、立柱垂直测量高度：　粗糙度系统：300mm；　形状系统：240mm;8、工作台结构：500mm×620mm大理石平台，双T形槽；9、形状测量系统：1)测量范围：垂直4/20mm，水平100mm；2)测量精度：垂直0.3%，水平0.03%；3)垂直分辨力：0.25μm/4mm，1.25μm/20mm；4)水平分辨力：1μm；商编：90308200产

5、地：美国品牌：VEECO型号：DEKTAK150*********有限公司*****年**月**日