台阶仪测试薄膜厚度实验.doc

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1、台阶仪测试薄膜厚度实验一、实验目的：掌握测试薄膜厚度原理和方法，了解台阶仪操作技术。二、实验原理：LVDT是线性差动变压器的缩写，为机电转换器的一种。利用细探针扫描样品表面，当检测到一个高度差别则探针做上下起伏之变化，此变化在仪器内部的螺旋管先圈内造成磁通量的变化，再有内部电子电路转换成电压讯号，进而求出膜厚。LVDT线性位置感应器，可测量的位移量小到几万分之一英寸至几英寸。LVDT的工作原理是由振荡器产生一高频的参考电磁场，并内建一支可动的铁磁主轴以及两组感应线圈，当主轴移动造成强度改变由感应线圈感应出两电压值，相比较后即可推算出移动量。三、操作流程1打开电脑，开台阶仪电源，等待1

2、0秒后打开操作软件。2打开台阶仪保护盖，小心放入样品。3点击Engage,观察样品与探针所在位置。4点击Z+将探针升起，将样品调到适当位置。5点击Scan，进行扫描。6分析数据。7点击Z+将探针升到顶端。8取出样品，关闭保护盖。9关闭操作软件，关闭台阶仪电源，关闭电脑。四、注意事项1待测样品要经过严格的送样登记、测试、记录程序，不明样品不得测试。2测试前，用洗耳球吹扫样品表面，把灰尘等东西从样品表面吹扫干净，保证样品的洁净度；吹扫时，洗耳球的尖端不能接触样品表面，防止破坏样品。3接通电源，依次打开电脑开机按钮，显示器按钮，台阶仪电源按钮，要等待一定时间（约10秒）后，待数据信息接通后

3、，将电脑桌面上的操作软件XP打开，不应马上打开软件进行测试。4样品放置时，要保证样品在样品台上平稳放置，放置时要横平竖直，所要测试的台阶的位置靠近探针针尖的垂直位置。5在探针降落到样品表面的过程中，先使用Engage按钮落针，此过程尽量不使用Z-。如探针距离样品很远，Engage使用弹出警告的情况下才使用Z-按钮；具体操作时，点击1-2下Z-键，再使用Engage按钮让探针下落。如果再次出现警告，则再点击Z-按钮，再使用Engage按钮落针，确保针尖安全。6测试时，显示屏幕如果发现针尖位置的表面比较脏，如表面有很多不明的颗粒存在于样品表面，停止测试，待送样者把样品处理干净后再作测试。

4、7断电时，UPS自动启动，此时将探针升到顶端，取出样品，关上保护盖，关闭台阶仪电源，关闭电脑。8台阶仪在使用的过程中，需作定期校准，为保证测试的准确性，暂时定为一周校准一次。9清洁样品台无异物、赃物。10擦拭台阶仪外壳表面无灰尘，用洗耳球对探针进行吹扫。11探针针头是否完整，有无歪斜、探针脱落。12台阶仪主机与电脑连接是否完好，各连接线是否处在连接位置。13样品台是否整洁，有无明显异物。14台阶仪的校准。(1)正常开机打开台阶仪拿出校样标准件。(2)对做出的数据对照标准数据是否一致。六、实验结果与分析：七、思考题：1、对于用台阶仪对非完美薄膜的厚度测量，StepHight的M和RCu

5、rsor点的选择？两个点分别选在图线中的拐点处，这样倾斜的曲线会水平，比较容易得到薄膜的厚度2、怎么样才能得到一个比较shape的台阶？在制备时在衬底上覆盖一个形状规则比如长方形的陪片，且覆盖片要尽量薄，边缘应整齐，这样产生的台阶才会陡峭，方便测量