台阶仪操作规范.doc

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1、台阶仪操作规范编制：审核：批准：发布日期：实施日期：1目的1.1为正确操作使用台阶仪。2适用范围2.1适用于公司质量管理部人员。3职责3.1所有使用人员须严格遵守该操作规范；使用过程中如出现异常情况，则使用人员必须停止使用并马上通知理化室相关人员。4工作内容4.1开机流程4.1.1检查线路是否连接正确，确认无接口松动。4.1.2打开电脑主机。4.1.3打开仪器电源盒(黑色盒子)，释放EPO红色按钮（箭头方向），按下白色开机键，打开仪器。4.1.4打开Vision软件，进入测试界面。4.2关机流程4.2.1关闭Vision软件。4.2.2按下EPO黑色关机按钮，再按下

2、红色按钮（emergencyoff键）。关闭仪器电源盒。4.2.3关闭电脑主机。注：以上流程必须严格按规定进行，否则仪器会因为不能初始化而造成测量数据不准确现象和损坏仪器的风险！4.3测量流程要点4.3.1放置样品时必须点击，放置好样品，点击载入样品，然后点击，保证探针能落到样品表面，如果测量点与探针在样品的位置有差异，点击，微调样品的位置，点击，待探针落到测量的位置，点击开始测量分析，4.3.2单次测量界面设置打开操作界面，在下面栏中设置参数。通常需要设置的有Length（扫描长度），Duration（扫描时间），扫描速度在20~50μm/s之间（由扫描长度除以扫

3、描时间得到）比较合适，如果样品粗糙，保持20μm/s左右，这样可以避免碰坏探针。最后点击开始测量。StylusType（探针曲率半径）改成2μm测量结果分析如图：先进行水平调节，点击lever-two选项，再在右边点击右键，选择AddASH，得到台阶高度（膜厚）4.3.3多次测量设置(1)首先重复单次测量过程，建立模板高级选项.a点击在桌面上建立一个文件夹，打开后输入文件名，b点击进入设置界面，点击AdvancedOptions选项得到如下界面。c在Measurements位置处输入需要测量的次数，在StartingMeasurementNumber位置处输入起始编

4、号一般输入2合适，点击Browse，找到建立的文件夹打开，输入之前的文件名。d在.OPDx前面插入Sep函数，如上图所示（注意在符号.前面插入）。设置完后开始点击开始测量。如果要回到测量界面，点击进行设置，如果要转换到分析界面，点击进入分析界面分析。(2)测量结果储存，点击中的SaveAsBitmap保存为图片格式，在测量界面上点击右键，选择dataexport，保存为CSV格式，得到原始数据。(3)Z轴校准在如下界面进行。点击出现如下界面。点击弹出如下所示对话框。将9695数值输入到CertifiedValue位置，将校准时测量的标准样块数值输入到Measured

5、Value位置，再进行测量，校准，直到测量值在969.5±5.7nm范围之内即可。一般一个星期或者一个月校准一次即可。注意事项：取出样品，放置样品要按照测量流程要点1进行，否则有损坏探针针尖的风险。