浅析7nm之后的工艺制程的实现.pdf

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1、工艺与制造ProcessandFabrication浅析7nm之后的工艺制程的实现MarkLaPedus（EETimes半导体工程制造，美国）摘要：近来，GlobalFoundries宣布将会推进7nmFinFET工艺，引发了行业对工艺节点、光刻等技术的探讨。这是是来自SemiEngineering年的一篇报道，带领大家了解7nm工艺及以后的半导体业界的发展方向。关键词：集成电路制造；7nm；FinFET；GlobalFoundries中图分类号：TN405文献标识码：A文章编号：1674-2583(2017)01-005

2、0-04DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2017.01.013中文引用格式：MarkLaPedus.浅析7nm之后的工艺制程的实现[J].集成电路应用,2017,34(1):50-53.Analysisof7nmAftertheProcessoftheRealizationoftheProcessMarkLapedus(ExecutiveEditorformanufacturingatSemiconductorEngineeringofEETimes,SanJose,California,Ame

3、rica.)Abstract:Recently,GlobalFoundriesannouncedthatitwillpromotetheFinFET7nmprocess,causingtheindustrytoprocessnode,lithographyandothertechnologies.ThisisareportfromSemiEngineering,ledustounderstandthedevelopmentdirectionofthe7nmtechnologyandthefutureofthesemicon

4、ductorindustry.Keyword:integratedcircuitmanufacturing,7nm,FinFET,GlobalFoundries1引言之后的制程，则面临更大的挑战。7nm是否能顺利量随着尖端芯片制造商将其产品推向16nm、14产，5nm是否还有可能，3nm只存在于想象之中。nm、10nm甚至7nm制程，相关供应商也在更新其但有一点可以肯定，那就是到了10nm之后，我们技术蓝图。现在华为海思、三星和高通等芯片制造不能像在以往节点一样，通过简单地缩小栅极宽度来推商正在媒体上披露其10nm芯片的出

5、货规划，Global进工艺制程。往7nm的迁移势必需要昂贵的全新晶体Foundries、Intel、三星和TSMC也正在循序渐进的管架构、沟道材料和内部连接。同时还需要全新的Fab推进其工艺制程，GlobalFoundries甚至还在日前公工具和材料。但就我们观察，这些目前都不够成熟。布了其7nm计划。从技术的角度看来，我们可以生产7nm或5nm芯但随着工艺节点的推进，硅材料本身的局限逐片。但设计和生产这些制程的芯片，则需要极强的资金渐显现，加上ASML的EUV光刻机迟迟未能交付，和能力。另外，在有多重选择的当下，如何选择

6、正确的业界对于摩尔定律在7nm、5nm和之后的制程是否技术也是实现这些制程的关键。有效发表了不同的见解。从我们的角度看来，10nm从之前的路线图看来，在7nm制程，最有希望的节点工艺的实现是没有什么问题的，但到了7nm和晶体管候选者就是高电子迁移率的III-V族FinFET，而作者简介：MarkLaPedus，美国EETimes半导体工程制造，研究方向：集成电路的先进制造工艺。收稿日期：2016-09-22，定稿日期：2016-11-19。50集成电路应用第34卷第1期（总第280期）2017年1月ProcessandFa

7、brication工艺与制造之后的5nm则会迎来下一代的晶体管。锗无疑会是一个好选择。由于III-V族本身的特但近来这些现状都已经改变了，根据IMEC的一些性，我们还需要在上面花费更多功夫。报告显示，虽然III-V族FinFET可能会应用在7nm上，实际上，III-V族材料已经受到了很多的关注，且但他们认为最终会在5nm的时候普及下一代结构的晶体可能会在5nm的时候推出。而在7nm的时候，锗和管。所以根据IMEC的观点，下一代的晶体管可能会在7III-V族材料会是最有可能的竞争者。但是这些材料的nm上就出现。窄能带隙也会给

8、低漏电的晶体管带来麻烦。为此，对在7nm的时候，有三种晶体管可以选择，分别是环III-V族材料的期待从7nm迁移到5nm。但这并不排除绕栅极场效应晶体管、量子阱FinFET和SOIFinFET。近期会在源极和漏极上使用这种材料。根据IMEC的报告，环绕栅极场效应晶体管是最好的选因此，由于III-V族Fi