W-030扩晶机操作指导书.docx

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1、一、目的:能熟练掌握木机的性能,正确并安全地使用设备二、适用范围:制造部扩晶机工序三、参考文件:无四、职责:操作员应按操作规程进行操作,并对操作过程进行自我检查五、机台介绍療圳市■法电子有■公司SOso««<•*>蓝膜六、作业程序:1、开机a将电源开关拔到ON位置b将加热开关拔到ON位置2、操作a将I古I晶环内环放置于加热盘上b将需扩的晶片正而朝上放平于加热盘上c将固晶环外套在蓝膜与内环上。d将压膜架放下扣住,打开下气缸开关到ON,打开上气缸开关ONe将压膜架下松开,抬起,収出己扩好的晶片。3、关机a将加热开关拔到OFF

2、位置b将电源开关拔到OFF位置4、扩晶机详细操作请参照《扩晶机作业指导书》七、注意事项:1、防静电措施2、温度的设定应按工艺文件设定3、晶片膜的放置八、保养项目:1、机台表面清洁2、开关检查3、温度测试批准审核编制发行单位发行日期

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