dbpower固晶机操作说明书

《dbpower固晶机操作说明书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、一．基本操作说明1.开机2.CCD调节3.芯片设置4.材料设置5.取晶三点与置晶三点调节6.点胶与取胶位置设置7.点胶与取胶位置设置8.单步试运行二．常规管理与校准1.顶针更换2.胶针更换3.胶针校准4.固晶臂校准5.吸嘴流量设置三．注意事项四．密码8一、基本操作说明1.开机——>打开软件系统——>勾选系统初始化——>进入操作界面2.CCD视野调节a.鏡組倍率調整材料載台概略左右各留0.5倍間距芯片載台概略可視9顆芯片b.CCD调焦:松开旋钮，上下移动CCD模组至视野清晰c.基板CCD和芯片CCD校准CCD校准的目的：得出CCD与载台移动的比例关系，求得在单位像素内所转换的长度。在管理员

2、页面点击CCD校准，按提示点“确定”，测量X轴与Y轴间偏差以及倾斜角。若没达到图示要求，拧松固定CCD的四个小螺丝，微微调节CCD，再重复上述步骤，至达到要求。3.芯片设置芯片样板设置的目的：实现图形锁定芯片以及取晶过程的芯片位置寻找与锁定。切换至芯片设置页面，按下面图示步骤设置：点击“选择模板”——>点击“芯片大小”——>点击“芯片间距”。8模板设置芯片大小设置芯片间距设置检验模板设置效果：勾选“视觉锁定”和“节距移动”，通过触摸屏选定一颗芯片，通过“移动十字架”移动变更选定的芯片，并通过“视觉锁定匹配度”检验芯片模版设置的效果。1.材料设置a.材料模板设置切换至材料设置页面，点击“模

3、版设置”进入另一个页面，点“选第一点模版”，同样的，模板可以适当的做得大一点。对应逐点定位，只需做一点模板；两点定位，需要做两个不同点的模板。8a.材料路径(工单)设置切换至材料设置页面，在材料路径设置栏里，对于阵列模式，依次设置第一阶、第二阶甚至第三阶(根据材料的需要)。每一阶的设置都包括行数、列数的设置以及第一、第二(或者有第三)点的位置设定，点位置的设定务必按照图示所显示的位置设定。设置完工单后，再点击一下“第一阶”，然后点击“生成路径”。1.取晶三点与置晶三点调节目的：取晶三点实现CCD视野中心点、取晶点、顶针三点共线；置晶三点实现CCD视野中心点、置晶点、点胶点三点共线。a.取

4、晶三点在管理員頁面点击取晶三點設定，按提示的三个步骤依次完成。若第一步采用手动打点，步骤如下：将视野移动到晶圆盘的白色胶布处，选取“固晶臂”页面，点取“取晶位置”，通过慢速度往下移动固晶臂，至“z轴接触开关”变红，以实现手动打出取晶点。b.置晶三点在管理員頁面点击置晶三點設定，按提示的四个步骤依次完成。8若第一步采用手动打出置晶点，步骤如下：将视野移动到材料上的白色胶布处，选取“固晶臂”页面，点取“置晶位置”，通过慢速度往下移动固晶臂，至“z轴接触开关”变红，以实现手动打出置晶点。若打出的置晶点与点胶点偏离比较厉害，可以松开整个点胶模组，微移动至两个点偏差不远。若做取晶三点与置晶三点时，

5、发现取晶点与置晶点偏离CCD视野中心比较厉害，可以松开整个CCD模组，微调至取晶点与置晶点到视野中心。1.取晶高度、置晶高度、平动高度、顶出与预顶出位置的设置切换至管理员页面，点击“固晶工艺”的位置设置。a.取晶高度与置晶高度若要更精确的定取晶高度和置晶高度，可采取手动定标：在晶圆载台和材料载台锁定目标物后，选取“固晶臂”，分别选取取晶位置和置晶位置，勾选“吸嘴真空开”，慢速度下移固晶臂，至“漏晶检测”变红，读取当前固晶臂位置，手动输入到取晶高度和置晶高度栏里。b.平动高度设置选取材料载物台和芯片载物台中较高的一个，把固晶臂移至其上，慢速度下移，至离其最高点约1mm处（略高更安全），点取

6、“取当前位置”。8a.顶针定出高度与预顶出高度设置切换到“晶圆载台”页面，移走晶圆盘，打开辅助CCD，移动顶针位置，至刚刚好在顶针帽顶部稍下一点，点取预顶出位置对应的“设置”。重新放上晶圆盘，把顶针顶出在芯片旁边，目测顶针顶出约1/2-2/3芯片高度，点击设置。1.点胶与取胶位置设置在材料载台运动页面选择锁定点胶点，然后锁定一个材料目标。在管理员页面，选择点胶工艺的位置设置。在点胶位置设置页面里，先将点胶位置修正量设为-10，然后点击位置测试。安装胶针使之自然垂放至材料上，将胶针锁固再将点胶修正量设为-5。将胶针移至胶盘接触，再以修正量控制按钮将取胶位置设为过压5-15步，点胶取胶位置设

7、置完成，点击完成结束。2.单步试运行a.取晶单步先切换到晶圆载台视野下，选定一颗芯片，再选取操作员界面，在单步运动栏里勾选“锁定8取晶点”和“取晶”，点击运行，看取晶是否成功，然后点击“芯片放回”，看芯片重新放回位置是否良好。若发现单步取晶的效果不好，可重新调节取晶三点、顶针顶出位置等参数来优化。a.点胶单步先切换到材料载台视野下，选定视觉锁定点胶点，选取一个点胶点。再选取操作员界面，在单步运动栏里勾选“锁定点胶点”和“点胶”，点击