Y轴平行度校正.ppt

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1、Laser-Y轴平行度校正LeeShen2009-4-157/22/2021Riser(Y轴）图上所示的就是要调平行的Y轴7/22/2021Y轴平行度的必要性：●1.在传送中保持玻璃的平整●2.保证玻璃不被拉扯变形7/22/2021Y轴调平行度的仪器——RENISHAW激光干涉仪（XL-80）7/22/2021量測光學鏡組輕型鐳射頭(XL-80)电脑補償器系統(XC-80)XL-80鐳射系統7/22/2021XL系統組件介绍：1.XL-80鐳射系統2.XC-80补偿器和传感器3.XL系統的專用套裝軟件7/22/20211.

2、XL-80鐳射系統1.鐳射頻率穩定性規格為1年內±0.05ppm，1小時內±0.02ppm。這種優異的性能是通過動態熱控制將鐳射管長度限制在奈米以內而完成的。2.在整個環境範圍內，即0-40°C（32-104°F650-1150毫巴，保證±0.5ppm的線性量測精度。讀數以50kHZ頻率讀取，最高線性量測速度可達4米/秒，線性解析度達1奈米；即便是在最高速度下7/22/2021LED指示灯：LED狀態指示燈头表示鐳射狀態和信號強度，为软件的“萤幕”指示器提供後備支援。7/22/20212.XC-80补偿器和传感器XC-80

3、補償器是XL系統量測精度的一個關鍵因數。補償器具有一個處理源讀數“智慧型感測器”，可非常準確地量測空氣溫度、空氣壓力和相對濕度7/22/20213.XL系統的專用套裝軟件●LaserXL™软件●QuickViewXL™软件7/22/2021LaserXL™软件LaserXL™軟體包括線性、角度、旋轉軸、平坦度、真直度和垂直度量測模組以及動態量測能力。7/22/2021QuickViewXL™软件QuickViewXL™是一種理想的研發工具，因為該工具能夠快速、簡單地對運動系統進行既時檢查、審視及狀況。7/22/2021Y轴

4、平行度校正步骤：7/22/2021第一步：安装镭射系统将基座安装在Y轴前端并将镭射系统安装在基座上方固定7/22/2021第二步：安装补偿传感器一根连接线放置在腔体墙壁上（为了检测腔内的温度）（要求温度在25C正负0.5C)另一根连接线放置在大理石基座上（为了检测腔内的湿度）检测湿度的头7/22/2021第三步：安装光学镜头系统在右边的RISER上安装反射及透射光学镜组在左边的RISER上安装反射光学镜组7/22/2021第四步：激光预热及调整其信号将激光源预热6分钟将5个红色的信号灯调节成绿色（说明信号已调节为最大的了）

5、7/22/2021第五步：激光源及两个光学镜头调成一直角激光源7/22/2021第六步：启动两根RISER(Y轴)激光源Y轴有前向后运动每过300毫米电脑会记下一个数据调试人员在根据电脑的数据来调节其平行度7/22/2021第七步：调节平行度1.工具调节基座器调节扭矩器7/22/20212.方法将基座调节器放置在Y轴和气垫座间，两边各一个。根据电脑的数据设定调节扭矩器的扭矩力，从而进行如左图显示的操作。一直调到在20个微米之内才算OK7/22/2021Thankyou!7/22/2021