溶胶凝胶法制备大尺寸光学元件二氧化硅增透膜.pdf

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1、第6期中国光学学会第八届全国基础光学和中国物理学会第二届全国光物理学术报告会论文摘要集617高性能光学组合衰减器将首先用来实现神光升级装置多路分光系统的能量平衡.高性能光学组合衰减器将能满足高精度实验等多方面的需求从而会获得越来越多的应用.溶胶凝胶法制备大尺寸光学元件二氧化硅增透膜张伟清唐永兴乐月琴刘晓林蒋敏华‘孙今人(中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800镀制单,,层二氧化硅溶胶凝胶膜可使光学元件表面减少反射损耗并具有强的抗激光破坏能力是当前研制大型高功率激光系统的关键工艺技术.本文报道用溶胶凝胶法制作大尺寸光学元件增透膜的工艺和相关的

2、实验结果.,,,我们选用国产正硅酸乙醋作为原料用氨做催化剂配制成粒径为15~20nm多孔的二氧化硅胶体悬浮液,二氧化硅粒子呈单分散特性,从而具有优良的镀膜性能,,,.,试样用K。平板玻璃作为基板直径分别为价35mm功10mm价270mm用提拉法镀膜控制薄膜厚度使之工作在所需的波长上,膜层透过率大于9.,.%多点光谱测量表明膜层均匀性良好在激光波长为1.06州m,脉宽1ns的条件下,膜层的激光破坏阑值约10)/cm2.选择合适的有机物作粘结剂,可强化多孔二氧化硅增透膜的机械强度,延长膜层的使用寿命和提高膜层的激光破坏闭值.,2。,,在配制二氧化硅溶胶

3、时我们掺入聚乙二醇(PEG)0或PEG40加入量控制在从1%、10%范围内,,仍得到单分散相的多孔二氧化硅粒子溶胶液除加入PEG4010%以外所有溶液制备的薄膜透过率均大于。..,.9%膜层寿命优于一般的二氧化硅薄膜激光破坏闭值大于12)/cmZ(激光波长为106脚m脉宽1ns)在镀膜溶液中加入聚硅烷,还可以进一步提高膜层的使用寿命.*上海激光等离子体研究所.大功率全固态连续波绿光激光器的噪声测量李健‘,何京良张恒利吴令安许祖彦(中国科学院物理研究所光物理实验室北京100080激光二极管泵浦的大功率全固态绿光激光器是当前.,比较前沿的研究课题激光输

4、出功率的稳定性即激光器的噪声,由于直接影响激光器的使用效果,因此是衡量激光器性能的重要指标之一全固态绿光激光器的噪声分为基频噪声和倍额噪声,基频噪声主要有弛豫振荡、模差拍、寄生噪声和量子噪声,通过激光腔的参数设计可以大幅度降低,量子噪声虽无法消除,但因湮没在其它噪声中,可以忽略.倍频噪声是由于倍频晶体的,,“”.非线性效应引起的噪声因为最先在腔内倍频532nm绿光激光器中发现所以也称为绿光间题T.Baer从激光速率方程出发,指出纵模和频效应及交叉饱和是引起绿光间题的主要间题,目前的解决方法是实行激光单;频运转(但难以产生大功率绿光)另外美国光谱物理

5、公司则利用长腔长较好地解决了绿光噪声间题(但激光腔的体积太大).测量分析绿光输出噪声对改善全固态大功率绿光激光器的输出功率稳定性具有重要的意义.我们研制的大功率激光二极管,泵浦全固态绿光激光器采用两个15W的大功率激光二极管双向泵浦,,,,.43。。Nd:YVO晶体Z型谐振腔结构KTP腔内倍频腔长为70mmTEM模输出我们利用示波器测,量快速光电二极管的输出电压确定其直流平均功率用频谱分析仪(SPectrumAnalyzerandDisPI盯type,s,:2382/2380Marconihistrument)对不同绿光输出功率时的绿光噪声频谱进行

6、测量得到以下结果l)绿光噪声与绿光输出功率的大小有关,绿光输出功率增大,绿光噪声减小.

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