溶胶—凝胶法制备NiO薄膜的光学特性研究.pdf

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1、分类号UDC：密级：——编号：——溶胶一凝胶法制备Ni0薄膜的光学特性研究STUDY0NoPTICALPROPERTIESOFNiOTHINFILMSPREPAREDBYSOL-GEL学位授予单位及代码：量叠堡王盍堂(!Ql墅2学科专业名称及代码：徽电王堂皇固往旦士堂￡Q8Q9业2研究方向：电王建廛皇ME竖撞苤申请学位级别：亟±指导教师：王堑副煎攫研究生：王巍论文起止时叫：!QQ9：!!=垫!Q：12长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《溶胶凝胶法制各NiO薄膜的光学特性研究》是本人在指导教师的指导下，独立进

2、行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个^和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：!孰趋￡L年—墨月筮目长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和cNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理

3、工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：]拉导师签名：至堑兰生年三月羔R兰L年—蔓月幺月摘要氧化镍是具有典型的3d电子结构的氧化物半导体，是～种P型半导体材料，禁带宽度是在3．6—40eV之间。因为氧化镍薄膜具有优良的光电特性，而被广泛应用于紫外探测器，电致变色器件，电池电极及电化学电容器等领域。氧化镍薄膜的制备方法有：磁控溅射、化学气相沉积、分子束外延、脉冲激光沉积等。这些方法设各昂贵，技术较复杂，不易于大面积的薄膜制各。目前发展的溶胶一凝胶法则成本低廉、

4、工艺简单、成分均匀，适用于多元掺杂薄膜的制各。本论文采用溶胶凝胶法，用不同浓度的溶液，在不同热处理温度下制各了多组NiO薄膜。为了调节NiO薄膜的禁带宽度，使其更好的应用于紫外探测器领域，还制各了掺Mg的NiO薄膜，并采用紫外一可见(UV-VIS)分光光度计，x射线衍射仪(xRD)，原子力显微镜对所得薄膜进行测试，研究了薄膜的结构，光学，表面形貌等特性。关键词：氧化镍薄膜溶腔一凝胶№掺杂NiOisap_卯esemiconductormaterialwithtypical3delectronstructureoxideitsbandgapisb

5、etween36q0eVBecausethinfilmshaveexcellentopticalandelectricalproperties．itiswidelyusedinmanyfields，suchasUV-detector,electrochrorincdisplay，electrodesandelectrochemicalcapacitorsThereareseveralmethodstopreparenickeloxidefilms，whichincludemagnetronspuRefing．chemicalvapordepo

6、sition，molecularbeamepitaxy．pulsedlaserdeposition，etcForabovemethods，theequipmentisexpensive，technologyiscomplexanditisnoteasytopreparethelargeareaofthinfilmsAtpresent，thesol-gelmethodthatisloweost，simpleprocessandcomponentsunifolm，soitissuitableforthepreparationofmulti-ele

7、mentdopedfilminthisthesis，NiOthinfilmsweredepositedbythesol-geImethodatdifferentconcentratioDsofsolutionandtemperalure．InordertoadjustthebandgapoftllinfilmsandmakethethinfilmcanbeappliedtotheUV—detectorfieldsextensively．theMg-dopedthinfilmswerepreparedThestructure，opticalch

8、aracters，andsurfacemorphologyofthethinfilmswereinvestigatedbyX-raydiffraction(XRD)