DB13_T1828-2013太阳能级类单晶硅片.pdf

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1、ICS29.045H82DB13河北省地方标准DB13/T1828—2013太阳能级类单晶硅片Quasi-monocrystallinesiliconsolarwafers2013-12-02发布2013-12-20实施河北省质量技术监督局发布DB13/T1828—2013前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由保定市质量技术监督局提出。本标准起草单位：英利能源（中国）有限公司。本标准主要起草人员：张运锋、孟庆超、尹青松、张晓芳、高文宽、潘明翠。IDB13/T1828—2013太阳能级类单晶硅片1范围本标准

2、规定了太阳能级类单晶硅片的分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于太阳能级类单晶硅片。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T1552硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T2

3、828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T14264半导体材料术语GB/T25074太阳能级多晶硅GB50034-2004建筑照明设计标准DB13/T1633-2012太阳能级多晶硅片3定义和术语GB/T14264、GB/T25074和DB13/T1633界定的及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了DB13/T1633的术语和定义。3.1类单晶硅片quasi-monocrystallinesiliconwafers由类单晶硅锭进行加工得到的，并且单晶比例大于80%

4、的硅片称为类单晶硅片。3.2单晶比例percentageofthesinglegrain类单晶硅片表面最大晶粒的面积与硅片表面积的比值，可以用百分比形式表示。3.3翘曲度warpage硅片表面扭曲的形变量与中心轴之间的差值。3.41DB13/T1828—2013亮线brightline硅片表面锯痕深度小于20μm，肉眼可分辨的亮度明显高于正常硅片表面颜色的轻微锯痕。3.5崩边edgechip硅片边缘呈现的单面局部破损。一般用宽度（见图1中a）、延伸度（见图1中h）表示。hhaa崩边或缺口aa宽度h延伸度hha图1崩边、缺口示意图

5、3.6缺口breakage硅片边缘呈现贯穿正反两面的局部破损。一般宽度（见图1中a）、延伸度（见图1中h）表示。4分类4.1按单晶比例分类类单晶硅片按单晶比例分为一类片和二类片。4.2按产品质量分类类单晶硅片按外观、规格尺寸和电学特性分为一级品和二级品。5质量技术要求5.1单晶比例一类片：单晶比例≥98%的类单晶硅片。二类片：单晶比例＜98%且≥80%的类单晶硅片。5.2品级要求5.2.1外观外观要求见表1。2DB13/T1828—2013表1外观要求要求项目一级品二级品崩边(宽度a/mm，延伸度h/mm)a≤1且h≤1，个数不

6、限a1或h1，个数不限缺口(宽度a/mm，延伸度h/mm)a≤0.1且h≤0.1，个数不限锯痕深度/μm≤2020且≤40微晶最大横径/mm0＜30翘曲度/μm≤100≤100亮线面积硅片面积的四分之一，且≤亮线亮线面积≤硅片面积的四分之硅片面积的二分之一弯曲度/μm≤100表面平整，无裂纹、孔洞、杂质等；表面平整，无裂纹、孔洞、杂质等；表面质量表面沾污面积≤硅片总面积的5%，但表面洁净、无沾污、手印等不允许有油污5.2.2规格尺寸规格尺寸要求见表2。表2规格尺寸要求要求项目一级品二级品156mm×156mm，或由供需双

7、方商定规格156mm×156mm，或由供需双方商定规格规格210302002519020硅片厚度偏差/μm180201702016020210≤50200≤40硅片总厚度变化190(TTV)/μm180≤3535且≤451701601250.5边长偏差/mm1560.5角度偏差90°0.3°倒角角度偏差45°10°倒角斜边尺寸/mm1.50.5≥0.5且＜1；或，2且≤2.53DB13/T1828—20135.2.3材料性能材料性能要求见表3。表3材料性能要求要求项目一级品二级品导电类型P型（硼）18氧

8、含量（atoms/cm³）＜1.0×1017碳含量（atoms/cm³）＜5.0×105.2.4电学特性电学特性要求见表4。表4电学特性要求要求项目一级品二级品a电阻率/Ω·cm0.7～2.02.0且≤4.0少子寿命/μs≥2≥1≤且＜2a目标电阻率为1.5Ω