太阳能单晶硅片的制备技术简介

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1、太阳能单晶硅片制备技术简介马恩高2006中科院物理所嘉兴工程中心目录一、引言二、原料及其准备三、单晶硅棒的生长四、硅棒的切片技术五、物理所工程中心简况一、引言中科院嘉兴中心物理所分中心太阳能级硅片太阳能电池结构电池制备流程国内主要厂商二.原料及其准备:多晶硅料坩埚浓度单位Si浓度%杂质浓度(TMI)atoms/cm3电子级99.9999999—9N99.999999999-11N1ppba1ppta5×10135×1011太阳能级99.9999------6N1ppma5×1016高纯金属硅99.9----------3N1000ppma5×1019金属硅98.5

2、-99>10000ppma>5×1020注：单晶硅中原子数约为5×102２atoms/cm3ppma:原子数百万分比例,ppba;原子数十亿分比例,硅中的杂质浓度杂质(ppm)金属硅高纯金属硅太阳能级硅B15-50<30<1P10-50<15<5O3000<2000<10C100-250<250<10Fe2000<150<10Al100-200<50<2Ca100-600<500<2Ti200<51Cr50<151废料回收技术废电池IC废料埚底料头尾料废料处理程序废料粗分砍砂磨削浸泡超声清洗电阻分检D.I水清洗烘干酸洗NY废料处理设备吹砂机磨削机腐蚀机清洗机三、

3、单晶硅棒的生长：籽晶晶颈晶肩晶身晶尾CZ直拉法区溶法掺杂与电阻率的控制:CZ直拉法长晶技术生长炉结构:长晶过程:籽晶熔炼引晶放肩等径生长收尾长晶太阳能级硅棒性能指标:三、硅棒的切片技术：切头滚方多线切割机清洗分检供水系统车间布局应用四、物理所工程中心简介目前有常驻人员：25人实验室与工作场地:约3000M2实验室一：动力电池重点实验室研究方向：锂电新颖电极材料动力电池单体与模组超级电容器实验室建设实验室建设实验室二：新能源材料实验室研究方向：太阳能晶硅材料太阳能晶硅电池谢谢各位！