DB13T 1314-2010 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片

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1、ICS01.040.27F12DB13河北省地方标准DB13/T1314—2010太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片2010-11-15发布2010-11-25实施河北省质量技术监督局发布DB13/T1314—2010前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由邢台市质量技术监督局提出。本标准起草单位：晶龙实业集团有限公司、宁晋县质量技术监督局。本标准主要起草人员：任丙彦、安增现、柳志强、颜志峰、刘彦朋。IDB13/T1314—2010太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片1范围本标准规定了太阳能级硅单晶方棒、单晶硅片的术语和定

2、义、产品分类、原料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等。本标准适用于制造太阳能电池基片的单晶硅方棒、单晶硅片。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法GB/T2828.1计数抽样检验程序第一部分：按接受质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法GB

3、/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法GB/T191包装储运图示标志3术语和定义3.1缺口indent指贯穿单晶硅片边缘的缺损。3.2亮边brightPointEdge指单晶硅片侧棱上的连续缺损区域。3.3崩边edgecrack指单晶硅片边缘或表面未贯穿单晶硅片的局部缺损区域，当崩边在单晶硅片边缘产生时，其尺寸由径向深度和周边弦长给出。3.4裂纹crack指延伸到单晶硅片表面，贯穿或不贯穿单晶硅片厚度的解理或裂痕。1学兔兔www.bzfxw.comDB13/T1314—20103.5划痕scratch指单晶硅片在白炽灯或荧光灯下

4、，肉眼明显可见的凹陷状划伤。3.6线痕sawmark指切割时在单晶硅片表面留下的轻微不规则凹凸直线状痕迹。3.7弧宽度偏差chamferwidthdeparture单晶硅方棒、单晶硅片的四个圆弧中所对应的最大弦长与最小弦长的差。4产品分类4.1分类单晶硅方棒、单晶硅片按导电类型分为N型和P型两种类型。4.2规格单晶硅方棒、单晶硅片按直径分为Ф127mm、Ф135mm、Ф150mm、Ф165mm、Ф200mm、Ф220mm或由供需双方商定规格；按单晶硅方棒、单晶硅片的形状和外形尺寸（注：a×a/φ见图1,单位mm)分为：100×10

5、0/127、103×103/135、125×125/150、125×125/165、156×156/200、156×156/220或由供需双方商定规格。Φ—直径；2学兔兔www.bzfxw.comDB13/T1314—2010α—边长；Ｌ—弦长。单晶硅方棒断面、单晶硅片表面形状4.3等级单晶硅片按品质等级分为：一级品、二级品、三级品（具体分类标准见5.2.3）。5原料要求原料应符合表1规定。位错密少子寿命导电掺杂元生长晶向电阻率氧含量碳含量度晶向μs33类型素方式偏离度Ω.cmatoms/cmatoms/cm个（断面中心点）2/c

6、mB（硼）1-3/3-6≥15P型GaCZ＜100＞≤1°≤0.95×10E18≤5×10E16≤20000.5-6≥10（镓）0.5-3≥100≤1×10E18≤3000N型P（磷）CZ＜100＞≤3°≤5×10E161.7-12≥300≤0.8×10E18≤10006技术要求6.1太阳能级单晶硅方棒6.1.1太阳能级单晶硅方棒缺陷单晶硅方棒不得有孪晶线、层错、六角网络、亚结构、夹杂、空洞、星形结构等缺陷（见GB/T1554）。6.1.2太阳能级单晶硅方棒几何参数应符合表2规定。太阳能级单晶硅方棒几何参数100×103×125×

7、125×156×156×标称规格，mm100/127103/135125/150125/165156/200156/220边长偏差，mm，±0.30.30.40.40.40.5直径，mm127135150165200220直径偏差，mm，±0.30.30.40.40.40.5单晶硅方棒长度，mm，＞100100100100100100单晶硅方棒的长度也可由供需双方协商确定。3学兔兔www.bzfxw.comDB13/T1314—20106.1.3制造按程序批准的文件或供需双方协商公差范围制造。6.1.4单晶硅方棒外观6.1.4.1

8、棱上崩边每边100mm以内≥0.1mm、≤0.3mm的崩边不多于3个。6.1.4.2两直边垂直度90°±20′。6.1.4.3弧宽度偏差≤1.5mm。6.1.5单晶硅方棒表面质量单晶硅方棒表面经过处理后（化学处理或机械处理），不允许出现肉眼能观察到