气体标准物质的制备装置.pdf

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1、普通气体配气柜设计说明本设计是根据西南化工研究设计院气体标准化研究所提供的《配气装置技术要求》，经过对优化方案后设计的。为方便委托单位对本设计进行论证及技术交底针对设备的主要特性以及操作要点编写本设计说明。本设计说明中所提供的技术指标要点是保证该系统安全正常运行和保证质量的必要因素，其使用方法可根据实际操作经验进行调整，但本说明所提供的使用要点是必须的。1．基本技术参数材质：1Cr18Ni9Ti、304、316L;工作压力：≤15Mpa;-9真空速率:1.33×10P·L/S;适用介质:一般腐蚀性气体;2．设计特点本设计主要特点是:2.1．可分段置换抽空,对于一般载气既可以抽空置换亦可以直接

2、吹扫置换.2.2．排气位置位于管路末端改变以往的设计存在的死体积.2.3．管路、元件及连接均采用经过表面处理过的适用于高纯气体的.2.4．加装了适合于电子气的高精度过滤器,且不影响对管路的抽空置换.2.5．动力及真空泵与控制部分、充灌部分分离后置，可适合于一般防爆以及静音操作。2.6．维修方便。设计有充分的维修空间。3．适用要点3.1．充灌用气瓶的处理充灌用气瓶在使用前应进行清洗干燥使用载气进行置换抽空，。对于使用常用载气的充灌气瓶宜备置若干。注意：未经处理的充灌气瓶禁止在配气装置上进行置换抽空！3.2．配气管路置换抽空3.2.1．使用前首先采用载气对配气管路进行置换抽空。配气管路中集中了较

3、多的管路元件，应进行多次置换抽空过程。3.2.2．载气及组分气进气管路的置换抽空，对于一般的价格便宜的气体可直接排放置换进气管路，亦可采用抽空置换的方法。组分气进气管路适合使用载气进行初步置换后再用组分气置换。3.2.3．如配置同种组分的多瓶气体时，组分气宜一次充灌完成，避免多次置换浪费。3.2.4．压力表阀应由高向底依次开启关闭，避免损毁。4．检测4.1．在排气管出口位置设检测取样口。4.2．应定期对管路进行颗粒物及氦质谱检测。5．充灌及计量5.1充灌调节采用波纹管微调阀。5.2如有压力调整要求可在进气端加装调压装置。5.3本设计不包含计量器具，计量器具可根据配气要求自行配置。6．真空、动

4、力、排风6.1．本设备需用空气为气动源，采用气瓶供气方式，并可调整为管路供气方式。6.2．电器管线、电节点（真空规）及用电设备与气路部分隔绝密封。6.3．设有分布排风口。7．其他7.1．本设备不设报警、自动切断喷淋装置。7.2．对于易爆气体的精确度可由检测口取样分析。附图：