硅片检验作业指导书

《硅片检验作业指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、文件类别文件编号版本号/发布日期页数文件名称版本号/日期编写人批准人备注本文件由浙江尚源光伏科技有限公司版权所有，未经尚源公司书面许可，不得将本文件之全部或部分内容透露予无权阅读本文件之机构或个人。这是电子文件，影印版木未受控制。任何争议，以尚源公司文控中心的换拷贝为准。晶体硅多晶硅片检验作业指导书1.目的规范多晶硅片检验项目和判定准则，指导多晶硅片进料检验作业流程，控制多晶硅片的品质，提供符合生产需求的原材料。2.范围适用于正常购入多品硅片的检验判立3.定义无4.规范性引用文件4.1GB/T2828

2、.1-2003计数抽样检验标准4.2CD■硅片・02.4多晶硅片技术条件•职责5.1电池技术部负责编制多晶硅片技术要求。5.2电池质量部负责下发受控多晶硅片技术要求文件至相关部门5.3电池质量部负责根据技术要求编制多晶硅片检验标准5.4电池质量部硅料检验员负责根据多晶硅片检验标准的要求操作。•内容6.1多品硅片基本检验要求6.1.1检验环境室温、有良好光照（光照度M7001UX左右）运输/储存要求6.1.2.1产品应储存在清洁、干燥的环境屮，避免酸碱腐蚀性气氛；避免油污、灰尘颗粒气氛。6.1.2.2产

3、品运输过程中轻拿轻放、严禁抛掷，且采取防震、防潮措施核对相关信息6.1.3.1收料凭证与供应商来料规格信息核对，外包装无破损。6.1.3.2报料信息需与实物料号一致，数量、规格准确无误。6.2多晶硅片抽样方案及判定准则目项1A外观检验方案M抽尹硅过翘退.—A/1J、单外良鉴检片收为按不・•、碎零箱，出注盒、做以批检备开边不外量%满司贵9卜肝及9刁2尺寸、性能扒样方案、r一/••线18袋在商角••v=装4(侦对、傑焜她8h时心帥絵础取)0国边抽每不抽取样皿耘孤「退的检{阻1一取合格电项收丽切不陈何眄项目

4、检验项目判定准则21*Z4寸、曲方柔国外供应商：尺寸、厚度、电阻率、导电类型检验抽样方案：a）每箱数量WIOOOpcs,抽取2片（在不同的盒子，不同的包装袋中抽取）；b）1000pcs＜每箱数量W1800pcs,抽取5片（在不同的盒子，不同的包装袋屮抽取）；c）每箱数量＞18OOpcs,抽取8片•（在不同的盒了，不同的包装袋中抽取）。边长、对角线若抽测1片不合格，直接做零收一退；TV、TTV、电阻率若抽测1片不合格，加抽5片在不同的盒子，不同的包装袋中抽取），若5’片全部合格，则接受；若有1片不合格，

5、则整箱拒收3•III检验批抽样方法a）每箱数量WIOOOpcs,抽取2片（在不同的盒子，不同的包装袋中抽取）；b）1000pcs＜每箱数量W1800pcs,抽取5片（在不同的盒子，不同的包装袋屮抽取）；c）每箱数量＞18OOpcs,抽取8片（在不同的盒子,不同的包装袋中抽取）。若有1片少子寿命测试值VlOus,以此片二次制绒为最终确认值，若此片测试值合格，则整箱合格；若此片测试不合格，则整箱判定为不合格，即零收一退。6.3晶体硅多晶硅片检验项目、术语定义、测量仪器、测试方法、判定基准检验项目术语定义测

6、量仪器测试方法判定基准外观碎片硅片受力后变为破碎或不完整现象H测H测硅片四周及表面合格：无碎片不合格：表现为硅片整体破裂，破碎面积接近整体的1/2缺口上下贯穿硅片边缘的缺损，形状为“V，型或半圆形等口测目测硅片四周及表面合格：无缺口不合格：表现为硅片边缘某处呈三角形的缺口，尖端朝向硅片裂纹/裂痕延伸到晶片表面，可能贯穿，也可能不贯穿整个晶片厚度的解理或裂痕冃测目测硅片四周及裂纹、裂痕的长度合格：无裂纹/裂痕不合格：表现为硅片边缘，或对角有线形延伸裂开针孔由于单晶拉制过程中的气泡或冋溶等原因，形成的贯穿

7、硅片表面的孔洞H测H测硅片表面及发现孔上下两片洞硅片紧挨着的合格：无针孔不合格：表现为硅片表面大小不等的小孔，贯穿两面的孔检验项目术语定义测量仪器测试方法判定基准沾污硅片表面肉眼可见的某种颜色的花样，如指纹、水渍、有机物、灰尘以及腐蚀氧化FI测强光下目测硅片表面质量合格：无沾污色差由于硅片切割过程中的界常情况，导致硅片表面出现两种不同的颜色FI测强光下目测硅片表面质量合格：无色差硅晶脱落硅片表面未贯穿硅片的局部区域缺损，成凹凸状目测目测硅片表血质量合格：无硅晶脱落外观划痕硅片边缘因硕物划伤等原因出现的

8、微小崩边，在多片硅片放在一起会发现，单片难以发现目测目测多片硅片放在一起，在边缘形成的划痕合格：无划痕边缘毛糙硅片边缘或侧面由于未抛光、抛光不充分或线切割等原因导致的硅片边缘连续锯齿状缺陷目测强光下目测硅片边缘质量判定:合格：硅片边沿是光亮的（切片前的锭耍经化学腐蚀去除损伤层）不合格：硅片边沿不光亮密集型线痕垂直于线痕的1cm长度上线痕的条数超过5条H测、便携式面粗度计、显微镜见便携式面粗度计作业指导书合格：无密集型线痕检验项目术语定义测量仪器测试方法判