单晶、多晶硅片检验文件

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1、江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码1/8编制/日期:审核/日期批准/日期:1.目的监测硅片质量,确保电池片质量稳定。2.适用范围适用于本公司质量部对所有来料硅片(单晶、多晶的125系列、156系列)质量的监视和测量。3.职责3.1电池事业部工艺人员负责制订硅片检验文件。3.2质量部负责来料硅片质量的控制。4.检验4.1核对对照送检单,核对硅片的来源、规格和数量,供方所提供的参数、如电阻率、厚度、对角线长、边长。检查供方出具的材质报告(碳含量、氧含量、晶向及位错密度),如有不符,须先与采购部沟通,无误后进行检验。4.2外观检验4.2.1用刀

2、片划开封条,划时刀片不宜切入太深,刀尖深入不要超过5mm,防止划伤泡沫盒内的硅片。塑封好的硅片,用刀尖轻轻划开热缩膜四个角,然后撕开热缩膜。4.2.2抽出两边的隔版,观察盒内有没有碎片,如有则要及时清理碎片。4.2.3检验单晶时外戴汗布手套内戴丁腈手套,检验多晶时戴PVC手套。从盒内拿出100片硅片(不得超过100片),先把硅片并齐并拢后观察硅片四边是否对齐平整,并用硅片模板进行对照,鉴别是否存在尺寸不对的现象,如不符合,则用游标卡尺测量,并及时记录于硅片外观检验原始记录表上。4.2.4再将100片硅片分出一部分使其旋转90度或180度,再并拢观察硅片间是否有缝隙,如有则说明有线痕或是TTV

3、超标的现象。将缝隙处的硅片拿出来,用MS-203测硅片上不固定的数点厚度(硅片边缘2-5cm以内取点),根据厚度结果确定是否超标。将线痕、TTV超标片区别放置。再观察四个倒角是否能对齐,如有偏差,对照硅片模板进行鉴别,把倒角不一致硅片分开放置。并在硅片外观检验原始记录表上分别记录数量。4.2.5观察硅片是否有翘曲现象,翘曲表现为硅片放在平面上成弧形或是一叠硅片并拢后容易散开。如有,则要把硅片放在大理石平面上,用塞尺测量其翘曲度,将翘曲度超标片区别放置,在硅片外观检验原始记录表上记录数量。4.2.6逐片检验硅片,将碎片、缺角、崩边、裂纹、针孔、污物、微晶(特指多晶硅片)等不合格品单独挑出,分别

4、存放,并在硅片外观检验原始记录表上记录。4.2.7逐片计数该盒中合格片数量及各类不合格片数量,并核对总数与硅片外包装计数是否一致,如有缺片的现象则必须记录相对应的盒号、箱号、晶体编号以及对方检验员号。4.2.8把硅片整理整齐,重新放入泡沫盒内,最后在硅片两侧放入泡沫垫板保护,盖上泡沫盒,用封箱带把盒子封好,在泡沫盒的上方记录包装内的实际数量,下半部分盖上自己的检验工号或在合格证上写上检验工号。4.2.9按4.2.1-4.2.8步骤对所有硅片进行检验。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码2/84.2.10将所有检验完毕的硅片盒装箱后用封箱带封

5、好后,在箱子右上角贴上绿色合格标签纸,标明纸箱内硅片的规格、电阻率、厚度以及该箱检片后的实际数量(纸箱右上角空出贴合格证标签的位置,要求粘贴位置一致)。4.3厚度的检验来料检验部门以GB/T2828.1一般检验标准Ⅱ确定每批检验数量,使用MS-203检测。每片测量5点,分别为硅片四周5mm处四点及硅片中心一点,在硅片厚度测试记录表上记录所测量的数据。计算出所有记录的平均值,并以抽检厚度均值将片源分为四类,结果上报计划部门(参照SF/03-GY-037)。如测试结果与送检厚度误差较大,及时向采购部反馈。4.4导电类型检验每箱中随机抽取5片已经过外观检验的硅片用P-N导电类型鉴别仪测试硅片的导电

6、类型(P型、N型),填写于导电类型测试记录表上。5片中有一片导电类型与送检类型不一致,则与该片晶体编号相同的片子均不合格。4.5电阻率测试参照4.3抽检标准确定测试数量,使用MS-203测试厚度时同时测量电阻率。将结果填写于硅片电阻率测试记录表内。4.6少子寿命测试用WT1000测试扩散后少子寿命,采取均匀抽样的原则,每炉抽取2片,共抽12片,记录下少子寿命值及对应的炉管号。4.7批量试制4.7.1采购部报检时要把同一片源不同切片厂家、同一片源不同清洗工艺、包装有差异等分开入批次,便于原材料质量分别开出试制跟踪单。4.7.2第一次试制时每箱抽一盒,共抽检2400片4.7.2.1来料3万以下(

7、含3万)第一次试制2400片,合格则余下全部投入生产。4.7.2.2来料3-10万第一次试制2400片,合格后小批量试制1万。4.7.2.3来料10万以上(含10万)第一次试制2400片,合格后小批量试制2万。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码3/8投入生产4.7.2.4若第一次试制不合格,则进行第二次试制,试制量仍为2400片。若第二次试制不合格,则由工

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