单晶、多晶硅片检验文件

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1、江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码1/8编制/日期：审核/日期批准/日期：1．目的监测硅片质量，确保电池片质量稳定。2．适用范围适用于本公司质量部对所有来料硅片（单晶、多晶的125系列、156系列）质量的监视和测量。3．职责3.1电池事业部工艺人员负责制订硅片检验文件。3.2质量部负责来料硅片质量的控制。4．检验4.1核对对照送检单，核对硅片的来源、规格和数量，供方所提供的参数、如电阻率、厚度、对角线长、边长。检查供方出具的材质报告（碳含量、氧含量、晶向及位错密度），如有不符，须先与采购部沟通，无误后进行检验。4.2外观检验4.2.1用刀

2、片划开封条，划时刀片不宜切入太深，刀尖深入不要超过5mm，防止划伤泡沫盒内的硅片。塑封好的硅片，用刀尖轻轻划开热缩膜四个角，然后撕开热缩膜。4.2.2抽出两边的隔版，观察盒内有没有碎片，如有则要及时清理碎片。4.2.3检验单晶时外戴汗布手套内戴丁腈手套，检验多晶时戴PVC手套。从盒内拿出100片硅片（不得超过100片），先把硅片并齐并拢后观察硅片四边是否对齐平整,并用硅片模板进行对照，鉴别是否存在尺寸不对的现象，如不符合，则用游标卡尺测量，并及时记录于硅片外观检验原始记录表上。4.2.4再将100片硅片分出一部分使其旋转90度或180度，再并拢观察硅片间是否有缝隙，如有则说明有线痕或是TTV

3、超标的现象。将缝隙处的硅片拿出来，用MS-203测硅片上不固定的数点厚度(硅片边缘2-5cm以内取点),根据厚度结果确定是否超标。将线痕、TTV超标片区别放置。再观察四个倒角是否能对齐，如有偏差，对照硅片模板进行鉴别，把倒角不一致硅片分开放置。并在硅片外观检验原始记录表上分别记录数量。4.2.5观察硅片是否有翘曲现象，翘曲表现为硅片放在平面上成弧形或是一叠硅片并拢后容易散开。如有，则要把硅片放在大理石平面上，用塞尺测量其翘曲度，将翘曲度超标片区别放置，在硅片外观检验原始记录表上记录数量。4.2.6逐片检验硅片，将碎片、缺角、崩边、裂纹、针孔、污物、微晶（特指多晶硅片）等不合格品单独挑出，分别

4、存放，并在硅片外观检验原始记录表上记录。4.2.7逐片计数该盒中合格片数量及各类不合格片数量，并核对总数与硅片外包装计数是否一致，如有缺片的现象则必须记录相对应的盒号、箱号、晶体编号以及对方检验员号。4.2.8把硅片整理整齐，重新放入泡沫盒内，最后在硅片两侧放入泡沫垫板保护，盖上泡沫盒，用封箱带把盒子封好，在泡沫盒的上方记录包装内的实际数量，下半部分盖上自己的检验工号或在合格证上写上检验工号。4.2.9按4.2.1-4.2.8步骤对所有硅片进行检验。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码2/84.2.10将所有检验完毕的硅片盒装箱后用封箱带封

5、好后，在箱子右上角贴上绿色合格标签纸，标明纸箱内硅片的规格、电阻率、厚度以及该箱检片后的实际数量（纸箱右上角空出贴合格证标签的位置,要求粘贴位置一致）。4.3厚度的检验来料检验部门以GB/T2828.1一般检验标准Ⅱ确定每批检验数量，使用MS-203检测。每片测量5点，分别为硅片四周5mm处四点及硅片中心一点，在硅片厚度测试记录表上记录所测量的数据。计算出所有记录的平均值，并以抽检厚度均值将片源分为四类，结果上报计划部门（参照SF/03-GY-037）。如测试结果与送检厚度误差较大，及时向采购部反馈。4.4导电类型检验每箱中随机抽取5片已经过外观检验的硅片用P-N导电类型鉴别仪测试硅片的导电

6、类型（P型、N型），填写于导电类型测试记录表上。5片中有一片导电类型与送检类型不一致，则与该片晶体编号相同的片子均不合格。4.5电阻率测试参照4.3抽检标准确定测试数量，使用MS-203测试厚度时同时测量电阻率。将结果填写于硅片电阻率测试记录表内。4.6少子寿命测试用WT1000测试扩散后少子寿命，采取均匀抽样的原则，每炉抽取2片，共抽12片，记录下少子寿命值及对应的炉管号。4.7批量试制4.7.1采购部报检时要把同一片源不同切片厂家、同一片源不同清洗工艺、包装有差异等分开入批次，便于原材料质量分别开出试制跟踪单。4.7.2第一次试制时每箱抽一盒,共抽检2400片4.7.2.1来料3万以下（

7、含3万）第一次试制2400片，合格则余下全部投入生产。4.7.2.2来料3-10万第一次试制2400片，合格后小批量试制1万。4.7.2.3来料10万以上（含10万）第一次试制2400片，合格后小批量试制2万。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页码3/8投入生产4.7.2.4若第一次试制不合格，则进行第二次试制,试制量仍为2400片。若第二次试制不合格，则由工