硅片检验规程1

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1、1目的为了加强成站质量控制，规范成站检验方法及步骤，特制定此规程。2范围本文件规定了対成品进行检验的标准等。本文件适用丁•硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装釦包装箱、封口胶带等。4内容4.1检验方式4.1.1外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2电学及其他性能抽检（加严时须全检），每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等进彳亍检验。4.2检验

2、步骤a）每个硅块抽取200片用Max硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少了寿命等进行检验；b）在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关耍求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，Z后再对所冇硅片进行外观上的检验；C）在抽检的200片当屮如果只有30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不

3、再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少了寿命等的检验，连同抽检的200片硅片屮剩下的硅片进行外观上的全检；例如：如某一硅块理论切片数为535片,抽检了200片,当中有29片不满足4.3中相关要求。则将29片判定为导电类型不符、电阻率不符等,剩下的171（200-29）片连同前面的335片（535-200）进行外观上的全检；编制：校对：审核：标准化：批准：发送部门份数d）依据4.3中相关要求对硅片进行分类。4.3技术要求按照硅片质量不同将产品分为A、B两个等级。A级为合格品，B级为可讣步使用的产品。其屮A级分为Al、

4、A2两类,B级分为Bl、B2两类，具体分类、检测方法见表1。表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目要求检验方法检验方式A级片B级片A1A2B1B21导电类型PP用硅片分选设备检测全检或抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔3崩边长度W1mm,深度WO.5mm每片刚边总数W2处长度W1mm,深度WO.5mm,每片刚边总数W2处肉眼检测全检4TTVW30PmW30Pm用硅片分选设备检测全检或抽检5厚度200±20um200±20um6尺寸156+0.5nim156+0.5nim7倒角l±0.5mm,45°±

5、10°l±0.5mm,45°土10°8线痕深度W8um且不明显深度W15Um且不明显15umV深度W30um深度W15nni且不明显目测或用表面粗糙度仪检测全检9电阻率0.5~3Q•cm；3-6Q•cm0.5-3Q•cm；3-6Q•cm用硅片分选设备检测全检或抽检10少子寿命>2uss用少子寿命测试仪检测全检11表面质量硅片表面无凹坑，无氧化，无沾污，无穿孔，无裂纹，无划伤硅片表而无凹坑，无氧化，无沾污，无穿孔，无裂纹，无划伤硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑;沾污不得冇3处，每处沾污面积^lmm2肉眼检测全检续表112

6、弯曲度W80umW80ym用塞尺检测抽检13氧碳含量氧含量W8X10'atoms/cm7'碳含量W6.OX1017atoms/cm3氧含量W8X10l，atonis/cni，碳含量W6.OXlO^atoms/cm3川碳氧含量测试仪检测抽检注：检测第8项“线痕”和第11项“表面质量”时须用标准样片进行比对说明：1）A级硅片为优等品，B级硅片为不合格硅片；2）B级硅片按公司《不合格品控制程序》进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第3.2.1条

7、一般精细作业中的要求,即识别对象最小尺寸0.6

8、齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶要求美观平整。4.4.3外包装外包装箱应标冇“小心轻放”及“防腐、防潮”字样，箱内有产品清单。外包装箱上贴冇标签，标签内容包括产品名称、型号、数最、口期以及包装编号等。外包装箱上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶成十字形，并要求美观平整。5记录《硅片生产流程R》《硅片检测分选记录表》