【2019年整理】硅片检验规程JY015.docx

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1、1目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。17范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。18设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。19内容4.1检验方式4.1.1外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2电学及其他性能抽检，每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、、厚度、TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。

2、4.2检验步骤a）每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b）在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c）在抽检的200片当中如果只有30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电

3、阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了200片，当中有29片不满足4.3中相关要求。则将29片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的171（200-29）片连同前面的335片（535-200）进行外观上的全检；编制：校对：审核：标准化：批准：发送部门—份数Jd）依据4.3中相关要求对硅片进行分类。4.3技术要求按质量要求将硅片分为A级硅片、B级硅片、C级硅片、D级硅片四级，如下表1。其中将硅片按电阻率分为A1（0.5〜3Q.cm）,A2（3〜6Q.c

4、m）2个类别，B级硅片按部分性能不满足A级硅片要求分为B1,B2,B3,B4,B5,…，B9共9种类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如125mm125mm,其他检验参数符合A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按A级硅片生产，允许按用户要求提供B级硅片或是C级硅片。表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目ABCD检测方法检验方式A1A2B1、B2、B3…B91导电类型PP可划片(不合格产品)，但在划为小规格尺寸不合格产品，即不满足A、B、C硅片分选设备抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐

5、裂、无针孔硅片分选设备抽检3崩边长度w1mm,深度<0.5mm,每片崩边总数w2处；长度w1mm深度w0.5mm每片崩边总数w2处；B1—1mmv崩边长度w5mm1mrx深度w2mm1v崩边总数w3目测全检4TTVw30卩mw30gmB2—30gm

6、.5mm45°土10o1±0.5mm、45°±10oB—倒角尺寸偏差超过士0.5mm但小于士0.8mm级要求的硅片均归为D级硅片分选设备抽检8线痕深度w8gm深度w15gmB6—15gm<深度w30gm目测、必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9电阻率0.5-3Q?cm；3-6Q?cm0.5-3Q?cm；3-6Q?cmB7—电阻率v0.5Q.cm硅片分选设备抽检10少子寿命>2gs>2gsB8—0.5gsw少子寿命v2gs少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检续表1说明：1）A级硅片为优等品，A、B级硅片均为合格硅片，C、D级硅片为不合格硅片；2）B

7、级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用，C级、D级硅片按公司《不合格品控制程序》进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第3.2.1条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸0.6

8、侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑，无明显沾污（表面沾污总面积小于3mrf，，每一百片单边侧面沾污