Macro 资料2.0

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1、合肥鑫晟光电科技有限公司Macro资料2013.11目录一、基础知识篇作01二、操作规范篇作02三、安全规范篇作03四、常见Mura篇作04一、基础知识篇1.Macro设备作用：在各种光源照射下，人通过操作机台调整玻璃位置，用肉眼检查玻璃基板上的宏观缺陷（涂布不均、异物、划伤等）。2.Macro数量：Inline12台（抽检），Offline3台，Final16台（全检）。3.Macro主要结构：Stage，照明单元，TouchPanel，ControlPC，AutoFocusPC，LaserPoint，KVM等。4.M/H灯颜色：白、橙、黄、绿。通过顶

2、灯的Miracleglass，可以实现Focus和Diffuse两种状态。5.BM层使用M/H白灯，BGR层使用M/H绿灯，OC层使用NA灯（Diffuse），PS层使用手持灯检查（灯光从M/H上接过来）。半透找位置，全透做判定。一、基础知识篇6.Stage轴动可以分为上下（Sliding），前后（Moving），翻转（Rolling和Pitching）运动。7.背光灯主要用于检查有无巨大缺陷、未涂布部分、未曝光部分，未曝光RGB层基板颜色分别对应偏黄，偏紫，偏青。8.由于Na灯和M/H灯的开启时间比较长，一般在检查过程中不会关闭，只需要在不使用时关闭灯

3、箱Shutter即可。9.TouchPanel上功能键有：基板Map图、Glass排出键、基板判定键。10.Macro中有3个Na灯箱，2个金属卤素灯灯箱。11.机台Z向移动采用气缸驱动，内外圈转动采用马达转动。12.设备Stage上共有36个真空吸盘，4个辅助基准，4个推进基准，10个Clamp。一、基础知识篇①：为Mura图片显示器。能够选择显示前工序的Mura图像，以供Macro作业员参考。②：MacroPC显示器。显示Macro软件，供Recipe编写和Glass、Panel判定，Glass交换片操作使用。③：VCR显示器。显示VCR读取结果，确

4、认镜头位置使用。④：人机画面及设备状态显示。供手动按键操作Macro各轴，设定各轴参数，显示设备通信状态及信息。⑤：手持控制器。供Macro使用人员更方便操作Macro。①②③④⑤二、操作规范篇&三、安全规范篇注意事项：1.Macro检查时，不建议拉开幕布透气透光；2.人员上爬梯时必须系好安全带；3.注意保护眼睛，不建议长时间盯着基板看，但是要注意设备运行状况，注意不能闭目休息；4.手持灯、气枪的位置不能随意摆放，不要随意玩弄气枪。安全事项：1.当人员或者设备发生危险情况下，要立刻按下紧急按钮，以避免发生人员或者设备的损伤；2.Interlock作为连锁

5、装置，是在门窗上使用的。当门窗被打开时，设备会自动停止运行，与EMO有相同作用；3.光闸作为保护装置，一旦触发，设备就会停止。人员不要伸出手超过光闸部分查看。四、常见Mura篇设备名称造成Mura涂布机1.异物Mura2.涂布横线3.Sharp横线4.未涂布5.粒状Mura6.竖线7.涂布前后端不良8.等高线Mura9.EdgePR残留等显影机1.显影Mura2.显影竖线3.过显影4.显影停滞5.手掌Mura6.显影横线等曝光机1.蝴蝶Mura2.SpotMura3.Mask共同缺陷4.MissAlign5.ExpStageMura等四、常见Mura篇B

6、GR颜色混色后的感官效果：B+R-(紫色);B+G-(青色);R+G-(黄色);B+G+R-(白色)Process测定项目BMBMCDOK:Range<0.7umBGRBGR色度OK:RxRange<12/10000GyRange<20/10000ByRange<8/10000涂布前后端色度OK:RxRange<45/10000GyRange<60/10000ByRange<30/10000膜厚断差OK:G-R<0.2umB-G<0.2umB-R<0.2umRPW<0.5umBPW<0.5umGPW<0.5umITORS<1000Ω/□OCOCThi

7、ckRange<0.05um,OKRxRange<12/10000,OKPSPSHeightRange<0.05um,OK四、常见Mura篇种类现象原因方法对策异物Mura有高度的核,常以圆形出现各工程涂布过程中，基板上有异物或前烘工程中，升化物落在基板上发生身体倾斜绿光强光易见,白光暗光也可见通知当线担当对此相应的Coater机进行PRPurge或FilmCleaningCT横线从涂布前端到后端贯穿整个基板而形成的一条线Coater设备中的Nozzle被污染或内部有气泡而引起,PR的吐出量不一致造成BM/BGR身体倾斜上下晃动头部绿光可见；PS白光，

8、OCNa灯通知当线担当对此相应的Coater机进行PRPurge或FilmCle