设备验收报告——扩散炉

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1、设备验收报告设备名称型号规格数量/套验收范围扩散炉DHC53A-031验收日期：2010年月日技术规格（详见附文）验收项目验收指标实测结果备注温度控制范围400〜1100°C恒温区长度及精度W±0.5°C/1080mm(801-1100*C)W土1.0°C/l080mm(400〜800°C)炉体温度稳性±rC/4hours(855°C时)升降温速率可控范围爬升率：15°C/min（最大）下降率：5*C/min（最大）N/O?流量耕度±2%*总量程尾气抽气负压T00~-300Pa单机产能1.5h/批,400片/批设备稳定性一周稳定运行工艺效果验证均匀性：单片平均

2、值：H标值±5Q/口单管平均值：目标值±3Q/口单片极差W8,单管极差W10培训培训内容培训对象（签字）培训时间备注石英管拆装/淸洗设备操作丨1常维护/故障排查资料交付类型交接对象（签字）交接时间备注电气图机械装配图使用说明书、维护手册、安装说明书、安全说明书技术规格书备品备件交接验收结论：意见和建议：甲方名称：中恒科技（唐山）曹妃甸有限公司技术负责人：（盖章处）日期：2010年月日乙方名称：北京中联科伟达技术股份有限公司现场负责人：日期：2010年月日注：此报告一式两份，甲方、乙方各存一份。设备验收报告附文一、验收依据1、年—月—日，甲、乙双方签订的DHC5

3、3A-03型管式扩散炉设备购销合同。2、年_月_R,甲、乙双方签订的DHC53A-03型管式扩散炉设备验收细则。二、验收项目1、温度控制范围2、恒温区长度及精度3、炉体温度稳定性4、升降温速率可控范围5、N2/O2流量精度6、尾气抽气负压7、单管产能8、设备稳定性9、工艺效果验证三、验收标准、方法1、温度控制范围检验方法：将炉体恒温区5个点的工艺温度设为一致，范围控制在400-1100°CZ间，保温维持4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。检验标准：5个点的温度波动值控制在土0.5°C(801〜1100°C)以内；5个点的温度波动值控制±1

4、.0°C/1080mm(400〜800D以内2、恒温区长度及精度检验方法：将炉内温度设置在400〜800°C之间，开启加热，当炉温达到设定温度并稳定1小时以上，将屮间3个温控仪(分别监测怛温区的头部、屮部、尾部3个位置的温度)测得的温度最人值减去最小值，然后再除以2,得到的结果即为所测恒温区的精度，该值如果在技术指标规定的范用之内，即判定为恒温区长度、精度指标检测合格。温度在801〜1100°C之间的测试方法同理。检验标准：^±0.5°C/1080mm(801〜1100°C),W±1.0°C/1080mm(400〜800°C)。3、炉体温度稳定性检验方法：将炉

5、体恒温区5个点的工艺温度设为某一温度，范围在800〜900CZI'可，炉温稳定后4个小时以内炉温的波动，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。检验标准：5个点的温度波动值控制在±1°C以内4、升降温速率可控范围检验方法：工艺温度下（推荐800〜900D,在炉内温度稳定时，将炉内温度设定为某一需要值，测试炉内温度稳定所需的时间，再除以两次温度的差值，即可得到爬升率。检验标准：爬升率为15°C/min（最大），下降为5°C/min（最大）。5、N2/O2流量精度检验方法：根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。验收标准：W±2%*总量程；大2流量允

6、许偏差为±1000sccm,小N2流量允许偏差为土lOOsccm,O2流量允许偏滓为土dOOsccmo6、尾气抽气负压检验方法：川文氏管测试设备尾气管的抽气压力。验收标准：-100—300Pa7、单机产能检验方法：单管双面扩散产能200片，单面扩散产能400片，方阻基本达到目标值。每管运行时间在l・5h/管验收标准：400/批（125mm硅片单扩）,200片/批（125mm硅片双扩）8、设备稳定性检验方法：设备进入试用期，稳定批量生产一周，无严重故障（指不发生导致生产过程停止的设备故障；排除人为因素）。验收标准：设备稳定运行一周。9、工艺效果验证检验方法：正常

7、执行标准工艺配方，随机抽取3批（炉），每批（炉）抽取6片扩散硅片，每片随机测量5个点，根据43Q/□方阻的实测值得出均匀性指标。（每管硅片电阻率在卜3Q•cm）II标值的检测：每炉6片三十个点方阻的平均值在40〜46Q/口片内单片平均值和极差的计算方法为：单片平均值每片5个测最值的总和除以5,平均值土8（38〜48Q/口）、片内极差5个点的最大值减去最小值（Max-MinW8Q/口）单管的平均值和极差：单管6片平均值总和除以6,平均值±3（40〜46Q/口）、单管内的极差为30个点的最人值减去最小值（Max-MinWlOQ/口）个分项目标值检测仪器检测方法方块

8、电阻目标值±3Q/口四探针测试仪单片5