扩散炉石英管清洗程序

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1、中电电气（南京）光伏有限公司作业指导书——扩散炉石英管清洗程序一、备用石英管清洗1.清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。2.清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液，溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸（由生产人员调配）；如果原有的氢氟酸溶液很脏，则应全部排空并洗净槽体，然后通知生产人员配液；如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液，洗净槽体后请生产人员配液。3.清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套，然后将备用石英管放入石英管清洗机靠近里面的槽内，管口朝向制绒间，管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门，将酸

2、槽清洗时间设定为30min，按下控制面板中“酸槽启动”按钮。4.酸槽清洗时间的设定：新的石英管只需清洗30min左右。如果是用过的石英管，应以将管内壁上沾附的白色五氧化二磷全部脱落的时间为准。清洗用过的管子，有的要1到2天时间。在酸槽未启动的情况下，应每隔2个小时将石英管旋转180°。5.清洗人员戴好防护眼镜和手套，将石英管从酸槽取出，轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英管内外壁约5分钟。冲洗石英管内壁时不要按下“水槽启动”按钮，如果已经按下了应再按下“水槽结束”按钮。然后把水枪拉到石英管管口，从管口向管尾方向

3、冲洗管内壁。冲洗时应仔细认真，不要有残留未冲到的区域。2分钟后，将石英管旋转180°，再用同样方式冲洗2分钟。6.将纯水注入水槽，水位以能没过石英管尾部的中间通气管为准。拉下防护门，然后将水槽清洗时间设定为30min，按下“水槽启动”按钮。7.重复第6步，再清洗一遍。8.水槽结束后，将水槽内的水排空。然后，参照上面第5步的方法用水枪冲洗石英管内/外壁。重点冲洗内壁。约5min后用水枪冲洗管尾的四个小通气管，重点同样是管内壁。冲洗2分钟后再继续从管口方向冲洗。此步清洗时间应不少于15min，以管内外壁无颗粒状磷化物残留为

4、清洗干净的标志。9.清洗好后将石英管放到净化间的指定位置，下面垫上专用的泡沫。10.将管口和尾管用专用铝箔密封。注：1.搬运石英管或将石英管放入清洗槽/从清洗槽取出时应使用专门的塑料套管。2.石英管应轻拿轻放，切勿与清洗槽或其他物品发生碰撞或接触。3.放入槽内的位置应以管口抵住槽体最右侧底部的限位转子为准。4.清洗后如果超过1星期未使用，应重新进行清洗。5.搬运过程中不能抓尾部的小管，清洗后也不能抓管口。二、备用碳化硅桨清洗1.将硅桨放入生产人员配好的氢氟酸溶液中浸泡，时间以表面沉积的白色五氧化二磷能够用水枪冲掉为标准

5、。1.将硅桨放入水槽，用水枪反复冲洗。要把沉积在硅桨上的五氧化二磷尽可能地冲掉，实在冲不掉的可以用洁净的石英片刮去。2.将水槽放水，没过硅桨。然后将水反复灌入桨的空心槽内再倒出。3分钟后将桨浸泡在水中30min。3.排空水槽内的水，用氮气枪吹干硅桨。4.更换洁净的手套，垫上洁净无尘布将硅桨抬出，放在已经铺好无尘布的桌面上。放置时应使硅桨扁平一端高于方截面的一端，这样有利于空心槽内残留的水流出。5.待空心槽内已经干燥，硅桨便可以使用。注：1.清洗碳化硅桨过程可结合石英管清洗过程进行，这样可以大大节省清洗时间。2.硅桨应轻

6、拿轻放，不可猛烈撞击。3.在硅桨被氮气吹干后，应垫上洁净无尘布，更换新pvc手套后方可触动/搬运。4.清洗后如果超过1星期未使用，应重新进行清洗。二、卸下硅桨及上面的石英绝热挡圈和石英挡板、石英炉门、不锈钢炉门系统及硅桨承载舟、尾部气体连接、尾气管、源恒温控制箱；拉出炉体上的三根测温热电偶。1.卸下硅桨上的石英绝热挡圈和石英挡板。特殊情况的处理：个别绝热挡圈会粘在碳化硅桨上难以取下。这时应把绝热挡圈和碳化硅桨一并取下，放入石英管清洗机内，注意绝热挡圈和硅桨结合槽部位朝下放置。然后用石英片将硅桨两端垫起，不要使绝热挡圈和

7、周围物品接触。这些都准备好后将槽内放水，水位没过硅桨和挡圈结合槽1cm左右即可。每隔一段时间轻微搬动一下挡圈，直至挡圈能顺利从硅桨上脱落为止。此过程应注意不要将水灌到挡圈侧面的小圆孔内。2.将硅桨、石英炉门、不锈钢炉门系统及硅桨承载舟卸下。1.可将上述部件一并卸下，然后再将硅桨和石英炉门拆下用氢氟酸浸泡清洗；不锈钢炉门系统用湿抹布擦洗，长期积累下的绿色铁的氯化物可用砂纸或者铁丝团除去。2.石英炉门清洗前要把橡胶密封圈取下，石英炉门浸泡时间以上面的黑色碳粘污能够用水枪冲洗掉为准。3.石英炉门从氢氟酸中取出后要用水枪反复冲

8、洗15min左右。有些难以去除的黑色污染物可用小石英片刮去。4.冲洗干净后用氮气枪将炉门吹干放入净化橱内备用。3.拆下炉口的不锈钢挡板，用自来水冲洗，长期积累下的绿色铁的氯化物可用砂纸或者锉刀除去。4.拆下炉管尾部的气体连接，取出尾气管和校准热电偶（长沙管子没有）。注：1.尾气管非常长，在取出和放入过程中要十分小心，要绝对保证石英