扩散炉停机流程.doc

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1、一，48所扩散炉正常关机流程：1.确认工艺结束，分步降温，先降温600度，然后400度再200度，再关闭加热键。2.待降温完成后，关闭监控软件和电脑。3.关闭面板上的上电按钮和每台电控柜中的3个但P空开。4.关闭恒温槽，拆下源瓶。5.关闭总电源开关。6.关闭冷却水，气体阀门，并注意查看是否有冷凝水，或酸排倒灌现象。7.关闭各气体手阀，如果需要开保护氮气的话，氮气就不用关。二，48所扩散炉紧急停电注意事项：1.关闭上电按钮，和电柜中3个单P空开。2.关闭恒温箱以及源瓶手阀，必要时生产拆线源瓶。3.关闭总电源开关。4.迅速打开设备的所有盖板，让机器紧急

2、散热。5.注意查看冷却水是否正常或有冷凝水，尽量不要断冷却水，冷凝水情况要不定时检查。6.检查各气体酸排管道是否有异常。三．CT扩散炉正常停机流程：1.确认工艺已经结束，设定各管温度为500度。2.关闭炉口上面压缩空气调压阀，使压力为零，调节时一定要用力均匀。2.当各管温度降至500度时，手动将炉门拉出来一点，不要超过5MM动作要轻，防止冷凝后粘住。3.降温分步降，500度，200度，50度。3.待降温合适后，关闭CMI软件和电脑，关闭4个管的CESAR电脑的开关.4.停止运行恒温箱，并关闭黑色的开关，必要时生产拆下源瓶。5.关闭设备冷却水，先关进

3、水阀，后关出水阀。6.关闭各气体手阀，如果需要开保护氮气的话，氮气就不用关。7.关闭设备总电源开关。四，CT扩散炉紧急停电注意事项：1.关闭软件和电脑。2.关闭CESAR电脑开关。3.关闭总电源开关。4.迅速打开炉体所有盖板，用于设备紧急散热。5.手动关闭炉口上面的压空调压阀，使压力为零，将炉门拉出来一点，不要超过5MM动作要轻，防止炉门冷凝后粘住。6.查看冷却水是否正常，尽量不要断冷却水，并确认是否有冷凝水各管道的冷凝水情况一定要不定时检查。7.关闭恒温箱开关，必要时配合生产拆下源瓶。