柔性OLED器件薄膜封装研究

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1、第l2卷，第2期电子与封装总第106期、，01．12，No．2ELECTRONICS&PACKlAGING2012焦2B柔性OLED器件薄膜封装研究张浩，顾文，桑仁政，张建华(上海大学新型显示与系统集成教育部重点实验室，上海200072)摘要：把有机发光二极管(OLED)制备在柔性基底上，以此来实现柔性显示是未来显示技术发展的一个重要方向。但柔性基底相对于玻璃基底来说对水、氧气的阻挡能力较弱。为了延长柔性OLED器件寿命，就需要在柔性基底上进行有效的封装。文章首先介绍了柔性OLED的器件结构和常规的封装方法，然后重点介绍了目前比较热门的Barix封装技术

2、以及ALD技术，这两种技术都能够对器件进行有效的封装，将薄膜阻挡层的水汽渗透率降到一个较低的范围内，能够满足OLED在柔性显示和发光方面的需要，但是在效率和成本方面仍然需要进一步的改善。关键词：有机发光二极管；薄膜阻挡层；水汽渗透率；封装技术中图分类号：TN305．94文献标识码：A文章编号：1681—1070(2012)02-0001—05StudyonThinFilmEncapsulationforFlexibleOLEDPackagingZHANGHao，GUWen，SANGRen-zheng，ZHANGJian-hua(Keylaboratory

3、ofAdvancedDisplayandsystemApplications，ShanghaiUniversity，Shanghai200072，Ch／na)Abstract：ItisapromisingdirectionofnoveldisplaytechnologytofabricateOLEDonflexiblesubstrate．Butitistooweakforflexiblesubstrateagainstwaterandoxygen．InordertoextendthelifetimeofflexibleOLED，efectivepacka

4、geisneeded．ThispaperfirstlydescribesthestructureofflexibleOLEDdevicesand-．conventionalthin—filmencapsulationmethods，thenfocusesonBarixencapsulationtechnologyandALDtechnology．Bothtechnologiesareefectivelypackagemethods，thewatervaportransmissionrate(WVTR)canbereducedtoalowleveltome

5、ettherequirementofflexibleOLEDdisplay．However,improvementshouldbedonetoincreasetheeficiencyandlowerthecost．Keywords：organiclight—emittingdiode；thin—filmbarrier；watervaporpermeability；packagingtechnology·[~AMOLED仍然面临着诸多的挑战，特别是在塑料1引言基底上。其中的困难包括了在低温下如何制备具有高性能和高可靠性的薄膜晶体管，如何制备柔性电随着显示技

6、术的发展，对色彩和轻便度要求越极，还有就是薄膜封装技术(TFE)。在所有面临的来越高，有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)正挑战中，TFE是相当重要的一环，因为OLED对于空在逐渐走进移动设备、电视机等消费电子市场。将气中的水汽很敏感，对封装的要求也很’，封装的AMOLED~IJ备在柔性基底上，来实现柔性显示被认好坏直接影响了OLED显示器件的寿命。为是显示发展的一个重要方向。目前来说，实现柔尽管人们对OLED的失效机理还不完全清楚，但收稿日期：2011-12．5万方数据第12卷第2期电子与封装有许多研究结果表明了OLED器件内部水汽的存在是较好的表面

7、平整度，但是基底本身对外界的水汽阻影g~OLED寿命的主要因素。OLED器件所用的金属挡性能较差，容易导致水汽的渗透；对于金属薄片阴极一般是铝、镁、钙等活泼金属，非常容易与渗和超薄玻璃来说，它们和常规的玻璃基底类似，基透进来的水汽发生反应，影响电荷的注入。另外，底就是一个很好的阻挡层，能够有效阻止外来的影渗透进来的水和氧还会与有机材料发生化学反应，响，不需要再往基底上做其他阻挡层材料，只需要这些反应都会引起器件性能的下降。因此，研究有在OLED的表面进行柔性封装，但缺点是它们的柔韧机电致发光器件的封装对于提高器件的效率、延长性不如聚合物基底。器件的寿命具

8、有重要的意义。对于不同的聚合物基底，水气渗透率本文介绍了柔[~OLED的封装技术