《镀膜机教学课程》PPT课件

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1、新锐光学（常熟）有限公司制三课镀膜徐名泉镀膜机基础知识日本RAS-1100机台龍翩LP系列第一課：鍍膜機的構造鍍膜機時集機械、電子、光學為一體的高科技機器。成本相當高，在生産操作過程中一定要小心謹慎，每位人員都要知道鍍膜機的結搆及各部件之間的動作順序與條件。鍍膜機可分為五大系統一、真空系統二、控制系統三、膜厚系統（監控系統）四、蒸鍍系統五、輔助系統一、真空系統工作原理：真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。是通過（RPMPDp）的工作來進行壓強原理來排氣工作。真空系統簡單排氣圖有以下組成：(1)冷卻水桶身加熱器冷卻水電磁閥(2)GUN電子鎗冷卻水電磁閥(3)氧氣氣體注入電磁閥(4)A

2、TMATM/VAC真空狀態之顯示(5)加熱器顯示桶身加熱器是否動作(6)監控片顯示監控片目前位置(7)迴轉顯示桶身迴轉機構是否動作(8)轉速顯示桶身迴轉機構之轉速(9)SH1遮板開關1(10)SH2遮板開關2(11)Gun1無使用(12)Gun2Gun2坩鍋位置顯示(13)RV粗抽閥(14)RSV微粗抽閥(15)HV高真空閥(16)LV1洩氣閥1(17)LV2洩氣閥2(18)DP油擴散邦浦(19)FV前置閥(20)BP機械輔助邦浦(21)RP油迴轉邦浦(22)RLV管路洩氣閥(23)幫浦啟動主機啟動(24)關機關機(25)自動真空流程自動(26)手動真空流程手動(27)警報確認(28)

3、主畫面按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫面有上圖可知：真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既：A：初抽：真空室－RV－MP－RP－大氣中B：主抽：真空室－MV－DP－FV－MP－RP－大氣中另外，初抽可分為兩個階段，既：A：真空室－RV－PBV－RP－大氣中B：真空室－RV－MP－RP－大氣中初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。真空系統有以下組成：RP（機械泵浦）MP（輔助泵浦）DP（擴散泵浦）RP（機械泵浦）工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子

4、並非繞着圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨着轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中。注意：，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤，所以，泵浦油用到一定時間后要全部更換。RP油起着潤滑、冷卻與密封的作用，油位不能低于吸口的高度。在工作中要經常去確認RP油的油位，否則會造成機械泵浦燒壞的后果。MP（輔助泵浦）工作原理：是增大兩耑的壓力差使排氣

5、速度加快。它用于初抽與精抽，最大壓力可達到10－4Torr。泵體內部使兩各8字型的轉子，兩個轉子緊密配閤在一起，轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙。MP:分解图注意：因轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙，所以平時要保持泵體內部的清潔度，不能有其它雜質（物），泵體內部沒有油的，油的主要作用是用來潤滑泵浦體的齒輪及軸承，如果有油機臺可能返油或者機械輔助泵浦體的油封磨損，在加註油之前必須讓機臺停下來，以及泵浦處于大氣狀態下。因為機臺在運轉時泵浦內部處于真空狀態、如果打開頂部油封會造成大量的油洩漏以及嚴重損壞泵浦。當泵浦停止且處于大氣壓狀態時，必

6、須停止冷卻水否則當溫度很高時空氣的水分會凝固在泵浦裏，影響泵浦的極限壓力。旋片式真空泵工作原理：旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片

7、泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。旋片式真空泵工作原理：旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。