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1、第41卷第3期Vol.41,No.3真空VACUUM2004年5月May.2004油扩散泵的维修骆定祚(深圳市深视达实业有限公司,广东深圳518001)摘要:本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值。关键词:扩散泵;维修中图分类号:TH3;TB752文献标识码:B文章编号:100220322(2004)0320089203MaintenanceofoilvapourdiffusionvacuumpumpLUODing2zuo(TopSolutionsIndustrialCo.
2、Ltd.,Shenzhen518001,China)Abstract:Inthisarticle,whichisoneofkernelchaptersinthebook“PracticalVacuumTechnology”andavailabletoreadersforreference,summinguppracticalexperiencesofworkersandcombiningtheorywithpractice,authorhasmadementionofmaintenancetechniqueofvacuumpumpcomprehensively,systematicallyan
3、dearnestly.Keywords:vacuumpump;maintenance(上接2004年第2期第59页)22中的实线必须尽可能降得低些(这点,在设计扩由上述讨论可以画出一组返油率随加热功率变散泵的加热方案和油锅时,尤其要注意)。化的、与图22相似的曲线族来。同样,我们在使用调整好了的扩散泵时,也应注图22曲线表示:在给定油锅压强(如0.5托)重加热功率的调整。我们希望在一个最佳的加热功下,扩散泵中使用不同的工作液时的蒸气压情况。在率数值下,蒸气流的密度最为理想,从而能使该泵的现代扩散泵中喷口组件里的油蒸气压经测试大约是抽速最大、极限真空度最高、返油率最低等等。当然1.0托。在曲线上
4、可以看出,当油锅温度超过250℃想要同时都满足这些要求是很难办到的。时,泵的性能(极限真空等)就会恶化。因此,如果不但只要我们根据实际需要,用实验的方法具体适当地提高油锅温度,即使使用在常温下蒸气压很调试也可得到较好的效果。例如:为了提高泵的最大低的泵液也没有好处。尽管如此,为了使不带冷阱扩反压强,就可以增大加热功率。因为蒸气流越密,阻散泵之极限压强和油的迁移(以及油的裂解物)尽可挡作用越好。但也阻碍了气体分子的扩散,从而会使能地降低,我们还是要求泵工作液在真空环境下的抽速和极限真空降低,返油率也会加大。所以调整加油蒸气压要尽量低些。这是一个矛盾。因此,为了使热功率,要尽量做到从需要出发,统筹
5、兼顾。而通常扩散泵充分发挥它的良好的性能,我们应设法使图都是从极限真空这个角度入手来调整加热功率。收稿日期:20022022123选自骆定祚著,翟瞻莱主审的《实用真空技术》(长沙:湖南科学技术出版社,1980年)第五章。真空杂志社应读者要求,邀请原作者骆定祚先生重新修订,翟瞻莱先生审查后重新发表。作者简介:骆定祚(19362),男,江苏省扬州市人,高工。1960年毕业于南京工学院无线电工程系电真空专业(现名东南大学电子工程系),分配到774厂工作。曾被派参加筹建775厂,不久又去筹建770厂(曙光电子管厂)并在770厂工作多年后,受聘于香港华盛昌机械企业有限公司,到深圳筹建亨达莱真空公司。曾任
6、深圳金光真空电镀厂厂长、总工,深圳高特真空镀膜公司总工程师,深视达实业有限公司总顾问,中国真空学会真空电子器件应用专业委员会副主任,中国真空学会深圳市真空学会副理事长。主审:翟瞻莱(19292),男,广西柳州市人,教授级高工,1953年毕业于北京大学物理系,曾在774厂、772厂、770厂工作,曾任770厂(曙光电子管厂)副总工程师、总工程师、中国真空学会理事。·90·真空VACUUM第41卷这样,调整泵的加热功率的方法就是:在泵的加H2、He返扩散。扩散泵本身对轻气体压缩比较小,热器(电炉)上接一自耦变压器,接一个功率表(或串这是构成压强不稳的因素之一。用增加泵的喷嘴级联一电流表和并联一电压
7、表,电流表量程大小视加数或提高泵的加热功率均可改进。用一级侧向喷嘴热器功率而定)。把泵抽至极限真空后,调加热电压,或用两只扩散泵串联的方法也可减少上述原因造成使极限真空度增加,等稳定后记下电离真空计指示的压强不稳定性。的最大极限真空度数值下的加热功率数值(或此时④冷阱内冷剂不断蒸发而减少,造成气体阵发的电流、电压值的乘积),即可认为是加热功率的最性解吸。这可用自动补充冷剂的装置加以避免。佳值。今后
